Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Novel EUV mask absorber evaluation in support of next-generation EUV imaging
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Opsomer, K.; Detavernier, C.; Hendrickx, E.; Erdmann, A.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Heidarnia-Fathabad, Z.; Scholze, F.; Laubis, C.
Konferenzbeitrag
2017Reducing EUV mask 3D effects by alternative metal absorbers
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Souriau, L.; Hendrickx, E.; Erdmann, A.; Xu, D.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Edrisi, A.; Scholze, F.; Laubis, C.; Irmscher, M.; Naasz, S.; Reuter, C.
Konferenzbeitrag
2017Reducing extreme ultraviolet mask three-dimensional effects by alternative metal absorbers
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Souriau, L.; Erdmann, A.; Xu, D.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Edrisi, A.; Scholze, F.; Laubis, C.; Irmscher, M.; Naasz, S.; Reuter, C.; Hendrickx, E.
Zeitschriftenaufsatz