Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Coatings with a High Surface Roughness Prepared by a Co-sputtering Method Using Dual Rotatable Magnetrons
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten
Konferenzbeitrag
2016Preparation of a gradient SiO2 antireflective coating by a co-sputtering method using a dual rotatable magnetron system
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Fahlteich, John
Konferenzbeitrag
2015A hybrid electron cyclotron resonance metal ion source with integrated sputter magnetron for the production of an intense Al+ ion beam
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, Günther; Kreller, M.; Phillipp, A.
Zeitschriftenaufsatz
2014Advanced cost effective and sustainable transparent conductors based on titania for large area applications
Junghähnel, Manuela; Kopte, Torsten
Konferenzbeitrag
2014Es geht auch ohne Silber
Junghähnel, Manuela; Kopte, Torsten
Zeitschriftenaufsatz
2014IMALION - creation and low energy transportation of a milliampere metal ion beam
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, G.; Silze, A.; Kreller, M.
Konferenzbeitrag
2014Improvement of the electrical and optical properties of ITO thin films on ultra-thin glass by flash lamp annealing
Weller, Stephanie; Junghähnel, Manuela; Kopte, Torsten
Konferenzbeitrag
2014An inverted cylindrical sputter magnetron as metal vapor supply for electron cyclotron resonance ion sources
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, G.; Kreller, M.; Silze, A.
Zeitschriftenaufsatz
2012Influence of different TCO-systems on microstructure and performance of CdTe-solar cells in superstrate configuration
Morgner, H.; Preussner, T.; Häfner, K.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Kopte, T.; Siepchen, S.; Späth, B.; Drost, C.
Konferenzbeitrag
2012Nb2O5 and TiO2 thin films deposited by pulse magnetron sputtering of cylindrical ceramic targets
Preußner, T.; Blüthner, R.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2011Annealing effects on titania doped zinc oxide (ZNO:TI) and gallium doped zinc oxide (ZnO:GA) thin films prepared by DC-magnetron sputtering
Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2011Transparentes leitfähiges TiO2:Nb - ein TCO-Material der Zukunft?
Junghähnel, M.; Kopte, T.; Zywitzki, O.
Zeitschriftenaufsatz
2010Großfläche Kathode für Plasmaprozesse mit hohem Ionsierungsgrad
Heydenreich, U.; Nyderle, R.; Kopte, T.
Patent
2010High temperature resistant coatings of transparent and conductive Nb doped Titania (TiO2:Nb) for solar cell applications
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2010ITO thin films prepared by synchronal pulsed RF-DC sputtering
Heimke, B.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M.
Konferenzbeitrag
2010Properties of transparent conductive niobium doped titania (TNO) thin film deposited by large area DC and pulsed DC sputtering
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Zywitzki, O.
Konferenzbeitrag
2010Synchronal pulsed RF superimposed DC sputtering of aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al)
Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M.; Nyderle, R.
Konferenzbeitrag
2010Verfahren zum Betreiben einer großflächigen Kathode für Plasmaprozesse mit hohem Ionsierungsgrad
Nyderle, R.; Kopte, T.
Patent
2008Characterisation of baroque tin amalgam mirrors of the historical Green Vault in Dresden
Zywitzki, O.; Nedon, W.; Kopte, T.; Modes, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Investigation of transparent conductive silver based de-icing coatings for automotive application
Nyderle, R.; Kopte, T.; Preussner, T.
Konferenzbeitrag
2008Licht erzeugendes Wandelement
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Kubusch, J.
Patent
2008RF superimposed DC sputtering of zinc tin oxide (ZTO) and indium zinc oxide (IZO)
Heimke, B.; Kopte, T.; Hartung, U.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Krause, U.; Braun, J.
Konferenzbeitrag
2008Scheinwerfer fuer ein Kraftfahrzeug und Verfahren zum Herstellen desselben
Nyderle, R.; Preußner, T.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Dreihoefer, S.; Rochotzki, R.; Jestel, D.; Kalwa, M.; Steinborn, K.; Falz, M.; Buecken, B.; Gebhardt, B.
Patent
2008Solarkollektor
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Kopte, T.; Klostermann, H.; Fietzke, F.
Patent
2008Transparente Enteisungsschichten für kompliziert gekrümmte 3D-Kunststoffbauteile
Nyderle, R.; Kopte, T.; Preußner, T.; Gebbhardt, B.; Falz, M.; Bücken, B.
Konferenzbeitrag
2007Comparison of dielectric and conductive oxide layers on the properties of silver based transparent de-icing multilayer-stacks for automotive application
Nyderle, R.; Preussner, T.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2007Rekonstruktion von Barockspiegeln des Historischen Grünen Gewölbes im Dresdener Schloss
Nedon, W.; Zywitzki, O.; Kopte, T.
Zeitschriftenaufsatz
2007Verfahren und Vorrichtung zum Loeschen von Bogenentladungen
Krause, U.; Hartung, U.; Kopte, T.
Patent
2006AC powered reactive magnetron deposition of indium tin oxide (ITO) films from a metallic target
Kupfer, H.; Kleinhempel, R.; Graffel, B.; Welzel, T.; Dunger, T.; Richter, F.; Gnehr, W.-M.; Kopte, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2006A controlled pulsed reactive magnetron sputtering process for oxide film deposition
Kupfer, H.; Kleinhempel, R.; Herrmann, M.; Welzel, T.; Richter, F.; Krause, U.; Kopte, T.; Peters, C.; Frach, P.; Cheng, Y.
Konferenzbeitrag
2006Elektrode fuer elektrochemische Farbstoffzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
Frach, P.; Gloess, D.; Klinkenberg, S.; Kopte, T.; Fahland, M.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Patent
2006High-rate deposition of MgO by reactive ac pulsed magnetron sputtering in the transition mode
Kupfer, H.; Kleinhempel, R.; Richter, F.; Peters, C.; Krause, U.; Kopte, T.; Cheng, Y.
Zeitschriftenaufsatz
2005Connected fit algorithm for optical investigations of large area coatings
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Zeitschriftenaufsatz
2005Pulsed plasmas for reactive deposition of ITO layers
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen von Gasen bei Vakuumbeschichtungsprozessen
Krause, U.; Hartung, U.; Kopte, T.; Krause, I.
Patent
2005Verfahren zum Einstellen von Schichteigenschaften
Nyderle, R.; Gnehr, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.
Patent
2005Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2005Vorrichtung und Verfahren zum reaktiven Beschichten von Objekten
Krause, U.; Hartung, U.; Peters, C.; Krause, I.; Kopte, T.
Patent
2004Großflächenbeschichtung von Kunststofffolien und Glas mittels Vakkuumverfahren
Kopte, T.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2004The sputtering of ITO-layers by pulsed plasmas
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2004Synthesis of high-density MgO films by a novel magnetron sputtering system
Nam, K.H.; Jung, M.J.; Han, J.G.; Kopte, T.; Hartung, U.; Peters, C.
Zeitschriftenaufsatz
2004Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zuendspannung von Plasmen
Hartung, U.; Krause, U.; Kopte, T.; List, M.
Patent
2004Verfahren zur Regelung von Glimmentladungen mit pulsfoermiger Energieversorgung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.; Peters, C.
Patent
2003Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2002Elektrodenanordnung fuer die magnetfeldgefuehrte plasmagestuetzte Abscheidung duenner Schichten im Vakuum
Winkler, T.; Weiske, D.; Egel, M.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J.; Kopte, T.
Patent
2002Verfahren zur Erkennung von Ueberschlaegen in gepulst betriebenen Plasmen
Krause, U.; Schulze, M.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.
Patent
2002Verfahren zur Steuerung der Leistungsverteilung bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen
Kopte, T.; Winkler, T.; Kirchhoff, V.
Patent
2001Optisches transparentes Schichtsystem auf transparentem Material und Verfahren zur Herstellung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Soeder, B.; Ruppe, C.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung gleitflaechenseitig konkav gekruemmter Gleitelemente
Steeg, M.; Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C.
Patent
2000Gleitelement mit konkaver Kruemmung und Verfahren zu seiner Herstellung
Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C.; Steeg, M.
Patent
1999Zerstaeubungseinrichtung
Kirchhoff, V.; Schmidt, H.; Kopte, T.; Winkler, T.
Patent
1998Dual magnetron sputtering (DMS) system with sine-wave power supply for large-area coating
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Winkler, T.; Schulze, M.; Wiedemuth, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1997Die Herstellung von Antireflexionsschichten unter Nutzung des Puls-Magnetron-Sputterns
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Aufsatz in Buch
1997How to introduce pulsed magnetron sputter technology for large area coating
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
1997Pulsed plasma activated deposition of plastic films
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.
Konferenzbeitrag
1997Special features of pulsed magnetron sputtering (PMS-process) glass coaters
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.
Konferenzbeitrag
1996Antireflective layers produced by pulsed magnetron sputter technology
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Konferenzbeitrag
1996High-power pulsed magnetron sputter technology
Kopte, T.; Kirchhoff, V.
Konferenzbeitrag
1995New developments in pulsed magnetron sputter technology for glass coater
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
1995Pulsed technology - a new era of magnetron sputtering
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag