Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Low Power High Bandwidth Acceleration Sensor For Industrial Applications
Forke, R.; Hiller, K.; Hahn, S.; Weidlich, S.; Konietzka, S.; Motl, T.; Praedicow, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Results of multi-mass high precision vibratory MEMS gyroscopes for two types of system approaches
Popova, I.; Lestev, A.; Fedorov, M.; Rakityansky, O.; Ivanov, V.; Semenov, A.; Forke, R.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Koehler, D.; Konietzka, S.
Konferenzbeitrag
2015Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen
Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Koehler, D.; Hiller, K.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Wake up MEMS for inertial sensors
Stoeckel, C.; Billep, D.; Konietzka, S.; Zimmermann, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2015Yet another tuning fork gyroscope
Forke, R.; Hiller, K.; Hahn, S.; Konietzka, S.; Motl, T.; Köhler, D.; Heinz, S.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel
Weidlich, S.; Forke, R.; Konietzka, S.; Hiller, K.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014High precision vibratory MEMS gyroscope
Billep, D.; Hiller, K.; Hahn, S.; Forke, R.; Köhler, D.; Stöckel, C.; Konietzka, S.; Heinz, S.
Aufsatz in Buch
2013Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
Koehler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.
Konferenzbeitrag
2013Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte
Hiller, K.; Hahn, S.; Kuechler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Koehler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
Koehler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.
Konferenzbeitrag
2010Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen
Köhler, D.; Pohle, A.; Konietzka, S.; Heinz, S.; Lange, A.; Billep, D.; Forke, R.; Horstmann, J.T.; Loebel, K.-U.; Ramsbeck, M.
Konferenzbeitrag