Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD
Lisec, T.; Reimer, T.; Knez, M.; Chemnitz, S.; Schulz-Walsemann, A.V.; Kulkarni, A.
Zeitschriftenaufsatz
2012High aspect ratio deep UV wire grid polarizer fabricated by double patterning
Weber, Thomas; Käsebier, Thomas; Szeghalmi, Adriana; Knez, Mato; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2011Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition
Szeghalmi, A.; Arnold, M.; Berger, A.; Schammelt, N.; Füchsel, K.; Knez, M.; Kley, E.-B.; Zahn, D.R.T.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011High aspect ratio iridium wire grid polarizer for UV applications
Weber, T.; Käsebier, T.; Szeghalmi, A.; Knez, M.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Iridium wire grid polarizer fabricated using atomic layer deposition
Weber, T.; Kasebier, T.; Szeghalmi, A.; Knez, M.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur sowie dreidimensionale Struktur
Lisec, T.; Knez, M.
Patent
2009Greatly increased toughness of infiltrated spider silk
Lee, S.-M.; Pippel, E.; Gösele, U.; Dresbach, C.; Qin, Y.; Chandran, C.V.; Bräuniger, T.; Hause, G.; Knez, M.
Zeitschriftenaufsatz
2009Low-temperature ZnO atomic layer deposition on biotemplates
Lee, S.-M.; Grass, G.; Kim, G.-M.; Dresbach, C.; Zhang, L.; Gösele, U.; Knez, M.
Zeitschriftenaufsatz