Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Gekoppelte Optimierung von Flexibilitäten in Energieerzeugung sowie Verbrauch unter Berücksichtigung der Auskopplung in andere Märkte (Wärme)
Focken, Ulrich; Klose, Thomas; Berthold, Malte; Friedrich, Martin; Klobasa, Marian
Bericht
2009Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009MEMS based laser imager with diagonal progressive scanning
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Klose, T.; Schenk, H.; Massieu, J.L.
Konferenzbeitrag
2009Single crystal silicon micro mirrors
Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
20083D hybrid capacitance model for angular vertical comb drives
Jung, D.; Klose, T.; Grasshoff, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
20083D imaging using resonant large-aperture MEMS mirror arrays and laser distance measurement
Sandner, T.; Wildenhain, M.; Klose, T.; Schenk, H.; Schwarzer, S.; Hinkov, V.; Höfler, H.; Wölfelschneider, H.
Konferenzbeitrag
2008Actuating methods of quasistatic micromirrors for active focus variation
Conrad, H.; Klose, T.; Sander, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Fabrication and characterization of a dynamically flat high resolution micro-scanner
Hsu, S.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008Fluidmechanical damping analysis of resonant micromirrors with out-of-plane comb drive
Klose, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Mikromechanisches Bauelement mit Temperaturstabilisierung und Verfahren zur Einstellung einer definierten Temperatur oder eines definierten Temperaturverlaufes an einem mikromechanischen Bauelement
Heber, J.; Klose, T.; Sandner, T.; Bergmann, A.; Gerwig, C.; Knieling, T.
Patent
2008Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
Jung, D.; Drabe, C.; Schenk, H.; Sandner, T.; Klose, T.
Patent
2008Mikromechanisches Element und Sensor zur Ueberwachung eines mikromechanischen Elements
Klose, T.; Conrad, H.; Grasshoff, T.
Patent
2008Modelling the thermally induced curvature of multilayer coatings with COMSOL multiphysics
Conrad, H.; Klose, T.; Sandner, T.; Jung, D.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Two dimensional microscanners with large horizontal-vertical scanning frequency ratio for high resolution laser projectors
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur
Jung, D.; Drabe, C.; Sandner, T.; Schenk, H.; Klose, T.; Wolter, A.
Patent
2008Verfahren zur Strukturierung einer Nutzschicht eines Substrats
Drabe, C.; Klose, T.
Patent
20072D-Microscanner mit hoher Auslenkung zur Bildaufnahme
Schenk, H.; Drabe, C.; Klose, T.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung
Klose, T.; Sander, T.; Conrad, H.
Patent
2007Integrated piezo-resistive positionssensor for microscanning mirrors
Sandner, T.; Conrad, H.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieaenderung und Verfahren zum Betreiben desselben
Grasshoff, T.; Klose, T.; Sandner, T.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit
Klose, T.; Drabe, C.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches System, Vorrichtung zum Einstellen einer Empfindlichkeit eines mikromechanischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
Klose, T.; Grasshoff, T.
Patent
2007A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Optimierung der dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln
Klose, T.; Wolter, A.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007Ultra flat high resolution microscanners
Hsu, S.-T.; Klose, T.; Drabe, C.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2006Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors
Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
Drabe, C.; Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.K.
Konferenzbeitrag
2006Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren zur Kompensation herstellungsbedingt auftretender Abweichungen bei der Herstellung mikromechanischer Elemente und deren Verwendung
Klose, T.; Schenk, H.; Wolter, A.
Patent
2005Mikromechanisches optisches Element mit einer reflektierenden Flaeche sowie dessen Verwendung
Wolter, A.; Klose, T.
Patent
2005Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Klose, T.; Kunze, D.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schneider, A.; Schneider, P.
Konferenzbeitrag
2004Damping analysis and measurement for a comb-drive scanning mirror
Sandner, T.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Solarmodul mit Gehaeuse
Klose, T.; Graw, W.; Wodke, T.; Lang, O.; Stahnke, F.
Patent
2001Mikro- und mesoporöses Siliciumcarbid aus siliciumorganischen Precursoren
Klose, T.
Dissertation
2001Poroese Siliciumcarbidkeramik und Verfahren zu ihrer Herstellung
Adler, J.; Klose, T.; Stoever, H.; Teichgräber, M.
Patent
1999SiC-Keramik mit Porengrößen von Nanometer bis Mikrometer. Stand, Entwicklungs- und Anwendungsperspektiven
Adler, J.; Klose, T.; Piwonski, M.
Konferenzbeitrag
1994Ceramic membranes with high physical and chamical stability based on SiC and Si3N4
Schubert, C.; Adler, J.; Klose, T.
Konferenzbeitrag