Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009PML2: The maskless multibeam solution for the 22nm node and beyond
Klein, C.; Platzgummer, E.; Klikovits, J.; Piller, W.; Loeschner, H.; Bejdak, T.; Dolezel, P.; Kolarik, V.; Klingler, W.; Letzkus, F.; Butschke, J.; Irmscher, M.; Witt, M.; Pilz, W.; Jaschinsky, P.; Thrum, F.; Hohle, C.; Kretz, J.; Nogatch, J.T.; Zepka, A.
Konferenzbeitrag
2008Projection maskless lithography (PML2)
Klein, C.; Platzgummer, E.; Loeschner, H.; Gross, G.; Dolezel, P.; Tmej, M.; Kolarik, V.; Klingler, W.; Letzkus, F.; Butschke, J.; Irmscher, M.; Witt, M.; Pilz, W.
Konferenzbeitrag
1998Mediennutzung der Zukunft - Ergebnisse einer Expertenbefragung zur Medienentwicklung bis zum Jahr 2005/2015
Klingler, W.; Zoche, P.; Harnischfeger, M.; Kolo, C.
Zeitschriftenaufsatz
1998Plädoyer für eine nutzerfreundliche Technik
Zoche, P.; Klingler, W.
Konferenzbeitrag
1996IST Online-Umfrage I, 27. November 1995 bis 3. Januar 1996
Barth, C.; Breiter, A.; Frick, O.; Klingler, W.; Maier, J.-B.; Zoche, P.
Bericht
1996IST Online-Umfrage II, 15. April 1996 bis 10. Juni 1996
Barth, C.; Breiter, A.; Klingler, W.; Maier, J.-B.; Zoche, P.
Bericht