Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: An example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography
Helke, C.; Hiller, K.; Erben, J.W.; Reuter, D.; Meinig, M.; Kurth, S.; Nowak, C.; Kleinjans, H.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers
Helke, C.; Hiller, K.; Werner, T.; Reuter, D.; Meinig, M.; Kurth, S.; Nowak, C.; Kleinjans, H.; Otto, T.
Konferenzbeitrag