Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Dynamic analyses of membranes and thin films on wafer level
Gerbach, R.; Naumann, F.; Ebert, M.; Bagdahn, J.; Klattenhoff, J.; Rembe, C.
Konferenzbeitrag
2007Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.
Konferenzbeitrag