Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Einsatz von Polyelektrolyt-Multischichten für das temporäre Waferbonden
Dillmann, Helena
: Klages, C.-P.; Garnweitner, G.
Dissertation
2018IR- and NEXAFS-spectroscopic characterization of plasma-nitrogenated polyolefin surfaces
Khosravi, Z.; Kotula, S.; Lippitz, A.; Unger, W.E.S.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Improved bonding behavior by plasma coating for roughened surfaces
Eichler, M.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Abstract
2017Parametric studies on droplet generation reproducibility for applications with biological relevant fluids
Wiedemeier, S.; Eichler, M.; Römer, R.; Grodrian, A.; Lemke, K.; Nagel, K.; Klages, C.-P.; Gastrock, G.
Zeitschriftenaufsatz
2017Plasma nitrogenation of polymer surfaces with a new type of combinatorial plasma-printing reactor
Kotula, S.; Lüdemann, M.; Philipp, J.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Stickstofffunktionalisierung. Sauerstofffreie Plasmajet-Vorbehandlung für die Kunststoffaktivierung bei Umgebungsdruck
Eichler, M.; Fischer, V.; Paulmann, S.; Stammen, E.; Thomas, M.; Khosravi, Z.; Hinze, A.; Grishin, A.; Lachmann, K.; Borris, J.; Dohse, A.; Nagel, K.; Dilger, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Ar-H2 plasma surface treatments of silicon wafers at atmospheric pressure
Hergelová, B.; Eichler, M.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Characterisation and electrochemical evaluation of plasma electrolytic oxidation coatings on magnesium with plasma enhanced chemical vapour deposition post-treatments
Sun, M.; Yerokhin, A.; Matthews, A.; Thomas, M.; Laukart, A.; Hausen, M. von; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2016Control of direct bonding behavior by interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016DBD treatment of PVC tubes to reduce plasticizer migration
Neubert, T.; Lachmann, K.; Klages, C.-P.; Thomas, M.
Konferenzbeitrag
2016In situ ATR-FTIR study of the formation of hydroperoxides through postdischarge treatment of thin polymer films
Duckstein, R.; Lachmann, K.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2016Surface functionalization of microfluidic devices
Eichler, M.; Klages, C.-P.; Lachmann, K.
Aufsatz in Buch
2015Application of polyelectrolyte multilayers for temporary wafer bonding
Dillmann, H.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Abstract
2015Control of surface free energy by patterned etching or coating
Eichler, M.; Nagel, K.; Reim, L.C.; Klages, C.-P.
Abstract
2014High-efficient surface modification of thin austenitic stainless steel sheets applying short-time plasma nitriding by means of strip hollow cathode method for plasma thermochemical treatment
Nikolov, K.; Bunk, K.; Jung, A.; Kaestner, P.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Nucleophilic derivatization of polyethylene surfaces treated in ambient-pressure N2-H2 DBD post discharges
Khosravi, Z.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Strip hollow cathode method for plasma thermochemical treatment for surface modification of thin metal strips
Nikolov, K.; Köster, K.; Kaestner, P.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Temporary wafer bonding by polyelectrolyte interlayers
Eichler, M.; Dillmann, H.; Reim, L.C.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2013Adhesion Improvement by Nitrogen Functionalization of Polymers Using DBD-Based Plasma Sources at Ambient Pressure
Thomas, M.; Eichler, M.; Lachmann, K.; Borris, J.; Hinze, A.; Klages, C.-P.
Aufsatz in Buch
2013Combinatorial Plasma-Based Surface Modification of Polymers by Means of Plasma Printing with Gas-Carrying Plasma Stamps at Ambient Pressure
Hinze, A.; Marchesseault, A.; Büttgenbach, S.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Aufsatz in Buch
2012Area-selective microplasma treatment in microfluidic channels for novel fluid phase separators
Eichler, M.; Nagel, K.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Deposition of thermoresponsive plasma polymer films from N-isopropylacrylamide using dielectric barrier discharge at atmospheric pressure
Lachmann, K.; Rehbein, M.C.; Jänsch, M.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Diamond-like carbon films as piezoresistors in highly sensitive force sensors
Petersen, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Plasma activation as a pretreatment tool for low-temperature direct wafer bonding in microsystems technology
Eichler, M.; Hennecke, P.; Nagel, K.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Plasma printing and related techniques - Patterning of surfaces using microplasmas at atmospheric pressure
Thomas, M.; Borris, J.; Dohse, A.; Eichler, M.; Hinze, A.; Lachmann, K.; Nagel, K.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Reduction of plasticizer leaching from PVC by barrier coatings deposited using DBD processes at atmospheric pressure
Cerezuela Barreto, M.; Borris, J.; Thomas, M.; Hänsel, R.; Stoll, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2012Vertical microbubble column
Demming, S.; Peterat, G.; Llobera, A.; Schmolke, H.; Bruns, A.; Kohlstedt, M.; Al-Halhouli, A.; Klages, C.-P.; Krull, R.; Büttgenbach, S.
Zeitschriftenaufsatz
2011DLC-Beschichtung auf SU-8-Fotoresist für piezoresistive Anwendungen in der Kraftsensorik
Jordan, A.; Petersen, M.; Bandorf, R.; Büttgenbach, S.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Fluidischer Separator für Zweiphasengemische
Eichler, M.; Nagel, K.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung flexibler Leiterplatten, RFID-Antennen und Biosensoren mittels Plasma Printing & Packaging Technologie
Borris, J.; Thomas, M.; Dohse, A.; Lachmann, K.; Hochsattel, T.; Weidlich, E.-R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Me-DLC films as material for highly sensitive temperature compensated strain gauges
Petersen, M.; Heckmann, U.; Bandorf, R.; Gwozdz, V.; Schnabel, S.; Bräuer, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Mechanism and prevention of defect formation during hydrophilic silicon direct bonding at low temperatures
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011Micropatterning using atmospheric pressure plasma processes
Thomas, M.; Borris, J.; Eichler, M.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Niedrigtemperatur-Direktbonden von Silizium-, Borosilikat- und Quarzglaswafern und der Einfluss von Funktionsschichten
Eichler, M.; Hennecke, P.; Michel, B.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2011PECVD mit der Bandhohlkathode
Nikolov, K.; Schuhmacher, B.; Jung, T.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Plasma-Printing: Strukturierte Oberflächenfunktionalisierung und selektive nasschemische Metallisierung
Thomas, M.; Borris, J.; Dohse, A.; Weidlich, E.-R.; Elbick, D.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Surface modification of closed plastic bags for adherent cell cultivation
Lachmann, K.; Dohse, A.; Thomas, M.; Pohl, S.; Meyring, W.; Dittmar, K.E.J.; Lindenmeier, W.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2010Atmospheric-pressure plasma amination of polymer surfaces
Klages, C.-P.; Hinze, A.; Willich, P.; Thomas, M.
Zeitschriftenaufsatz
2010Barriereeigenschaften durch Nanobeschichtung
Cerezuela Barreto, M.; Borris, J.; Thomas, M.; Hänsel, R.; Stoll, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Erzeugung funktioneller Oberflächen durch plasmaunterstützte Beschichtung mittels dielektrischer Barrierenentladung (DBD-PACVD)
Thomas, M.; Eichler, M.; Borris, J.; Lachmann, K.; Barreto, M.C.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Low-temperature direct bonding of borosilicate, fused silica, and functional coatings
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Gabriel, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Micropatterning using atmospheric pressure plasma processes
Thomas, M.; Borris, J.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Optimierung von DBD-Plasmaquellen durch grundlegende Untersuchungen der Plasmaunterstützten CVD-Abscheidung
Thomas, M.; Hinze, A.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010P3T - a new technology for the cost and resource efficient inline production of flexible printed circuits, RFID antennas and biosensors
Borris, J.; Thomas, M.; Dohse, A.; Klages, C.-P.; Möbius, A.; Elbick, D.; Prinz, U.; Wandner, K.-H.; Weidlich, E.-R.
Zeitschriftenaufsatz
2010P3T - ein neuartiger Ansatz zur Herstellung flexibler Elektronik im Rolle-zu Rolle-Verfahren
Borris, J.; Thomas, M.; Dohse, A.; Weidlich, E.-R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Patterned deposition of transparent and conductive layers - new pathways towards cost efficient manufacturing techniques
Szyszka, B.; May, C.; Götzendörfer, S.; Ulrich, S.; Polenzky, C.; Ruppel, L.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Löbmann, P.
Konferenzbeitrag
2010Plasma-Printing. Strukturierte Oberflächenfunktionalisierung und selektive nasschemische Metallisierung
Thomas, M.; Borris, J.; Dohse, A.; Weidlich, E.-R.; Elbick, D.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2010Plasma-Printing. Strukturierte Oberflächenfunktionalisierung und selektive nasschemische Metallisierung
Thomas, M.; Borris, J.; Weidlich, E.-R.; Elbick, D.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2010Porous photoresist stamps for selective plasma treatment
Stöhr, U.; Dohse, A.; Hoppe, P.; Gehringer, A.; Thomas, M.; Klages, C.-P.; Reinecke, H.
Zeitschriftenaufsatz
2010Surface modification of closed plastic bags for adherent cell cultivation
Lachmann, K.; Dohse, A.; Thomas, M.; Pohl, S.; Meyring, W.; Dittmar, K.E.J.; Lindenmeier, W.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Amination of polymer surfaces with atmospheric-pressure plasmas
Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Atmospheric-pressure plasma activation of silicon for MEMS packaging
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Bondenergie-Messung in situ während des Temperns beim Direktbonden von Glas und Silizium
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Comparison of bonding kinetics for borosilicate glass and silicon wafers by in situ fracture surface energy measurements during annealing
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2009Density and aging behavior of primary amino groups on afterglow plasma-treated low-density polyethylene (LDPE)
Lachmann, K.; Michel, B.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Development of a multifunctional coating system for laser-induced material transport
Lachmann, K.; Eckert, S.; Vogel, A.; Klinger, A.; Gebert, A.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation
Michel, B.; Giza, M.; Krumrey, M.; Eichler, M.; Grundmeier, G.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2009Effects on silanol condensation during low temperature silicon fusion bonding
Eichler, M.; Michel, B.; Hennecke, P.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz