Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
Kurth, S.; Kehr, K.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Dötzel, W.; Michel, B.
Konferenzbeitrag
2000A resonance method for the determination of Young's modulus and residual stress of thin microstructures
Mehner, J.; Kehr, K.; Schröter, B.; Kaufmann, C.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
1999Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
1999Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
1999Fabrication of high frequency microscanners by using low temperature silicon wafer bonding
Hiller, K.; Wiemer, M.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Zahn, D.
Konferenzbeitrag
1999Investigation of heat transfer in micromirrors
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
1999Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners
Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M.; Schubert, I.
Konferenzbeitrag
1999Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag