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| 2000 | Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
Kurth, S.; Kehr, K.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Dötzel, W.; Michel, B. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | A resonance method for the determination of Young's modulus and residual stress of thin microstructures
Mehner, J.; Kehr, K.; Schröter, B.; Kaufmann, C.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Fabrication of high frequency microscanners by using low temperature silicon wafer bonding
Hiller, K.; Wiemer, M.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Zahn, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Investigation of heat transfer in micromirrors
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners
Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M.; Schubert, I. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |