| | |
|---|
| 1998 | Automatisierung in der Displayproduktion
Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Cost Efficient Future Automation and Transport Concepts
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Garbers, M. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | New Concepts for Electronic Manufacturing Facilities by Using Semiconductor Equipment Standards and Models
Gramann, U.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Matuscheck, P.; Suntrup, M.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Transition to Next Generation Logistic Information Systems - The Information Integrated Enterprise
Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Kaufmann, T.S.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | CIM Framework Projects of the European Semiconductor Industry
Kaufmann, T.S.; Suntrup, M.; Frauenhoffer, F.; Basset, T. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Flexible Automation Concepts
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Flexible automation concepts: The selection, installation and simulation of automation systems in the microelectronics industry
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Tools zur flexiblen Werkstattsteuerung
Kaufmann, T.S.; Prause, M.; Steuber, S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Kaufmann, T.S. | Tagungsband |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Qualification of 200 mm manual loading/unloading equipment with PWP-measurements
Schließer, J.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik
Gramann, U.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |