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| 2011 | HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
Leidich, S.; Kurth, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Froemel, J.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Reliability enhancement of Ohmic RF MEMS switches
Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Nowack, M.; Frömel, J.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Gessner, T.; Akiba, A.; Ikeda, K. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Image based test methodology for laser display scanners
Specht, H.; Kurth, S.; Billep, D.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Micro/nano technologies towards smart systems integration
Gessner, T.; Vogel, M.; Kaufmann, C.; Hiller, K.; Kurth, S.; Nestler, J.; Otto, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Technologie zur Integration von Kohlenstoffnanoröhren für Intertialsensoren
Bonitz, J.; Hermann, S.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Deformation measurements of high-speed MEMS with combined two-wavelength single-pulse digital holography and single phase reconstruction using subpicosecond pulses
Hansel, T.; Grunwald, R.; Reimann, K.; Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Griebner, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Specht, H.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Synthesized femtosecond laser pulse source for two-wavelength contouring with simultaneously recorded digital holograms
Hansel, T.; Steinmeyer, G.; Grunwald, R.; Falldorf, C.; Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Kebbel, V.; Griebner, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Laser Trimming of Micro Mirror Devices
Haenel, J.; Keiper, B.; Bleul, K.; Kaufmann, C.; Bonitz, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Reliability of MEMS devices in shock and vibration overload situations
Kurth, S.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen
Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Bundesmann, C.; Eichentopf, I.-M.; Maendl, S.; Neumann, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Laser Trimming of MEMS
Bleul, K.; Bonitz, J.; Haenel, J.; Kaufmann, C.; Keiper, B.; Mehner, J.; Petsch, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Laser-Display-System auf Basis von MEMS-Scannern
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | MEMS based laser display system
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Mikromechanische Schaltervorrichtung mit mechanischer Kraftverstärkung
Frömel, J.; Voigt, S.; Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Patent |
| 2007 | Mikrospulen und RF-MEMS Varaktoren für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie - Applikationen und Technologie
Leidich, S.; Hofmann, L.; Riemer, T.; Kurth, S.; Schubert, I.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Roughness improvement of the COSi2/Si-interface for an application as buried silicide
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Höhnemann, H.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Different approaches to integrate patterned buried CoSi2 layers in SOI substrates
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Höhnemann, H.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | MEMS based micro scanners: Components, technologies and applications
Geßner, T.; Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Specht, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Kurth, S.; Tenholte, D.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Patent |
| 2006 | Thermal stability of CoSi2 layers implemented in a silicon-on-insulator substrate
Zhao, Q.T.; Bay, H.L.; Zimmermann, S.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Trui, B.; Höhnemann, H.; Dudek, V.; Mantl, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Fabrication and characterization of buried silicide layers on SOI substrates for BICMOS-applications
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Trui, B.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Fabrication of SOI substrates with buried silicide layers for BiCMOS applications
Wiemer, M.; Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Trui, B.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A novel 24-kHz resonant scanner for high-resolution laser display
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Electrostatic driven scanning micro mirrors applied in spectral sensing devices
Saupe, R.; Otto, T.; Mehner, J.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Geßner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Infrared micro mirror spektrometer for gas analysis
Otto, T.; Saupe, R.; Kaufmann, C.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Application of low temperature direct bonding in optical devices and integrated systems
Hiller, K.; Kurth, S.; Neumann, N.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Interconnect systems in automotive sensors at elevated temperatures
Gottfried, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Application of high and low wafer bonding processes for bulk micromachined components
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
Kurth, S.; Kehr, K.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Dötzel, W.; Michel, B. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Micromirrors and micromirror arrays for scanning applications
Gessner, T.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Markert, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | A resonance method for the determination of Young's modulus and residual stress of thin microstructures
Mehner, J.; Kehr, K.; Schröter, B.; Kaufmann, C.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Fabrication of high frequency microscanners by using low temperature silicon wafer bonding
Hiller, K.; Wiemer, M.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Zahn, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners
Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M; Schubert, I. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |