Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1998Free 3D shaping with grey-tone lithography and multidose e-beam writing
Kalus, M.; Frey, M.; Buchmann, L.-M.; Reimer, K.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1998Verfahren zum Bilden von Justiermarken in einer Siliziumschicht
Kalus, M.; Bollmann, D.; Klumpp, A.
Patent
19973D structures using gray tone lithography
Reimer, K.; Wagner, B.; Kalus, M.; Frey, M.; Buchmann, L.
Konferenzbeitrag