Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Fused silica GRISMs manufactured by hydrophilic direct bonding at moderate heating
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Grism manufacturing by low temperature mineral bonding
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2016New grating concepts in the NIR and SWIR spectral band for high resolution earth-observation spectrometers
Flügel-Paul, T.; Kalkowski, G.; Benkenstein, T.; Harzendorf, T.; Matthes, A.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2015Low temperature GRISM direct bonding
Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Grabowski, K.; Benkenstein, T.; Ehrhardt, S.; Zeitner, U.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2014(Invited) Glass-Glass Direct Bonding
Kalkowski, Gerhard; Risse, Stefan; Zeitner, Uwe; Fuchs, Frank; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Direct bonding for the encapsulation of transverse optical gratings
Kalkowski, G.; Benkenstein, T.; Rothhardt, C.; Fuchs, F.; Zeitner, U.
Zeitschriftenaufsatz
2013Fabrication of a high power Faraday isolator by direct bonding
Rothhardt, Carolin; Rekas, Miroslaw; Kalkowski, Gerhard; Haarlammert, Nicoletta; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Silicate and direct bonding of low thermal expansion materials
Kalkowski, Gerhard; Fabian, Simone; Rothhardt, Carolin; Zeller, Paul; Risse, Stefan
Konferenzbeitrag
2012Direct wafer bonding for encapsulation of fused silica optical gratings
Kalkowski, Gerhard; Zeitner, Uwe Detlef; Benkenstein, Tino; Fuchs, J. Hans-Jörg; Rothhardt, Carolin; Eberhardt, Ramona
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Elektrostatisches Halteelement
Kalkowski, Gerhard; Risse, S.; Peschel, Thomas
Patent
2012Glass direct bonding for optical applications
Kalkowski, Gerhard; Rothhardt, Carolin; Jobst, Paul-Johannes; Schürmann, Mark; Eberhardt, Ramona
Zeitschriftenaufsatz
2012Influence of thermal load on 450mm Si-wafer IPD during lithographic patterning
Peschel, Thomas; Kalkowski, Gerhard; Eberhardt, Ramona
Konferenzbeitrag
2012Investigations into an electrostatic chuck design for 450mm Si wafer
Kalkowski, Gerhard; Peschel, Thomas; Hassall, Geoffrey; Risse, Stefan
Konferenzbeitrag
2012New approach to fabrication of a Faraday isolator for high power laser applications
Rothhardt, Carolin; Rekas, Miroslaw; Kalkowski, Gerhard; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012New Joining Technologies for High Stable and Smart Optical Systems
Eberhardt, Ramona; Kalkowski, Gerhard; Tünnermann, Andreas; Beckert, Erik; Böhme, Steffen
Konferenzbeitrag
2011Electrostatic clamping with an EUVL mask chuck: Particle issues
Kalkowski, G.; Zeuske, J.R.; Risse, S.; Müller, S.; Peschel, T.; Rohde, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Optical contacting of low-expansion materials
Kalkowski, G.; Risse, S.; Rothhardt, C.; Rohde, M.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2011Verfahren zum Fügen von Substraten
Kalkowski, G.; Rothhardt, C.; Rohde, M.; Eberhardt, R.
Patent
2011Verfahren zur Herstellung von Leichtbaustrukturelementen
Kalkowski, G.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Patent
2010Assessing the mask clamping ability of a low thermal expansion material chuck
Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.; Engelstad, R.L.; Mikkelson, A.R.; Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks
Kalkowski, G.; Peschel, T.; Risse, S.; Müller, S.; Engelstad, R.L.; Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Direct bonding of glass substrates
Kalkowski, G.; Rohde, M.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Electrostatic chucking of EUVL masks: Coefficients of friction
Kalkowski, G.; Semmler, C.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Müller, S.; Bauer, R.
Konferenzbeitrag
2010Verfahren zum silikatischen Bonden von beschichteten und unbeschichteten optischen Körpern
Eberhardt, R.; Schürmann, M.; Kalkowski, G.; Fabian, S.; Jahnke, C.
Patent
2008Cryogenic design of the ALUHEAT project
Hiltunen, I.; Stenvall, A.; Korpela, A.; Lehtonen, J.; Mikkonen, R.; Runde, M.; Magnusson, N.; Kalkowski, G.
Konferenzbeitrag
2008Elektrostatisches Halteelement mit Antireflexbeschichtung, Vermessungsverfahren und Verwendung des Halteelementes
Kalkowski, G.; Stenzel, O.; Stoeckl, W.
Patent
2008Flexibel verformbares Halteelement fuer Substrate
Kalkowski, G.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.
Patent
2007Elektrostatisches Halteelement
Kalkowski, G.; Risse, S.
Patent
2007Flatness characterization of EUV mask chucks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Niedertemperaturverfahren zum Fuegen von Glas und dergleichen fuer Optik und Praezisionsmechanik
Krauss, M.; Leopoldsberger, G.; Kalkowski, G.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Jahnke, C.; Fabian, S.
Patent
2007Verfahren zum Laser-gestuetzten Bonden, derart gebondete Substrate und deren Verwendung
Tünnermann, A.; Eberhardt, R.; Kalkowski, G.; Nolte, S.
Patent
2006Electrostatic chuck for EUV masks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.; Harnisch, G.
Zeitschriftenaufsatz
2005BELICHTUNGSANLAGE MIT HALTEEINRICHTUNG FUER EIN SUBSTRAT
Schubert, G.; Kirschstein, U.; Risse, S.; Harnisch, G.; Kalkowski, G.; Guyenot, V.
Patent
2005Halte-und Fixiereinrichtung fuer optische Elemente
Damm, C.; Peschel, T.; Kalkowski, G.; Leitel, A.
Patent
2005Verfahren zur Ausrichtung eines optischen Elementes in Bezug zur Rotationsachse einer Welle
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Gebhardt, A.
Patent
2004Elektrostatisches Fixierelement und Verfahren zu seiner Herstellung
Kalkowski, G.; Banse, H.; Eberhardt, R.; Stoeckl, W.
Patent
2004Element und Verfahren zu seiner Herstellung, bei dem zwei in Bezug zu mindestens einer Justierachse positionierte Koerper stoffschluessig miteinander verbunden sind
Kalkowski, G.; Damm, C.; Beckert, E.; Leitel, A.
Patent
2004Halterung fuer optische Elemente sowie Verfahren zur Herstellung
Kalkowski, G.; Damm, C.; Peschel, T.; Kunze, N.; Mueller, S.
Patent
2004Optisches Element und Verfahren zu seiner Herstellung
Kalkowski, G.; Damm, C.; Beckert, E.; Leitel, A.
Patent
2004Projektionsvorrichtung mit Feedbackfunktion
Muehlhoff, D.; Troellsch, A.; Waldhaeusl, R.; Schreiber, P.; Kalkowski, G.
Patent
2003Segmented lens mount for projection optics
Kalkowski, G.; Damm, C.; Peschell, T.; Leitel, A.; Kunze, N.
Konferenzbeitrag
2003VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM EINFUEHREN VON BIEGEELASTISCHEN FASERN IN LOECHER
Olbricht, K.; Schuster, M.; Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Eberhardt, R.; Mohaupt, M.
Patent
2002Electrostatic chuck behaviour at ambient conditions
Kalkowski, G.; Risse, S.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
2001Electrostatic chucks for lithography applications
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
2001Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Unwuchten an rotierenden Koerpern
Kalkowski, G.; Risse, S.; Guyenot, V.
Patent
1999Balancing of a polygonal scanner for HDTV application
Kalkowski, G,; Risse, S.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1998Balancing of a high speed rotor in aerodynamic bearings
Kalkowski, G.; Risse, S.; Fürle, T.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1998Doppelsphärische Luftlager aus Glas bzw. Glaskeramik
Risse, S.; Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Gebhardt, A.
Konferenzbeitrag
1998Lagerbaugruppe
Harnisch, G.; Guyenot, V.; Kalkowski, G.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Damm, C.
Patent