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| 2019 | Acoustic Validation of Electrostatic All-Silicon MEMS-Speakers
Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann A.G.; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Männchen, Andreas; Brocks, Tobias | Konferenzbeitrag |
| 2019 | Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2019 | Electrostatic All-Silicon MEMS Speakers for In-Ear Audio Applications - Acoustic Measurements and Modelling Approach
Ehrig, Lutz; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Langa, Sergiu; Melnikov, Anton; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2018 | Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald | Vortrag |
| 2018 | CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2018 | Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald | Zeitschriftenaufsatz |
| 2018 | Konzeption und Herstellung von Systemdemonstratoren für miniaturisierte Im-Ohr-Lautsprecher mit drahtlosen Kommunikationsschnittstellen
Horky, Steve
: Kaiser, Bert (Betreuer); Bauer, Reinhard (Betreuer) | Diplomarbeit |
| 2017 | CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2017 | Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2017 | Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald | Konferenzbeitrag |
| 2017 | A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald | Poster |
| 2017 | Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert | Patent |
| 2016 | A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2016 | A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus | Konferenzbeitrag |
| 2016 | Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
Kaiser, Bert
: Schenk, Harald (Betreuer); Bestehorn, Michael (Betreuer); Kupnik, Mario (Betreuer) | Dissertation |
| 2015 | About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan | Zeitschriftenaufsatz |
| 2015 | A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam | Zeitschriftenaufsatz |
| 2014 | Selective laser treatment and laser patterning of metallic and semiconducting nanotubes in single walled carbon nanotube films
Roch, Aljoscha; Roch, Teja; Talens, Esther; Kaiser, Bert; Lasagni, Andrés F.; Beyer, Eckhard; Jost, Oliver; Cuniberti, Gianaurelio; Leson, Andreas | Zeitschriftenaufsatz |