Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021All-silicon ultrasonic recognition of the environment
Kaiser, Bert
Vortrag
2021Balanced electrostatic all-silicon MEMS speakers
Schenk, H.A.G.; Ehrig, L.; Wall, F.; Kaiser, B.; Stolz, M.; Langa, S.; Schuffenhauer, D.; Monsalve Guaracao, J.M.; Melnikov, A.; Conrad, H.
Konferenzbeitrag
2021Coulomb-actuated microbeams revisited: Experimental and numerical modal decomposition of the saddle-node bifurcation
Melnikov, A.; Schenk, H.A.G.; Monsalve, J.M.; Wall, F.; Stolz, M.; Mrosk, A.; Langa, S.; Kaiser, B.
Zeitschriftenaufsatz
2021Large-Signal Equivalent-Circuit Model of Asymmetric Electrostatic Transducers
Monsalve, J.M.; Melnikov, A.; Kaiser, B.; Schuffenhauer, D.; Stolz, M.; Ehrig, L.; Schenk, H.A.G.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2021MEMS component with in-plane movable element and method for operating same
Kaiser, Bert
Patent
2021MEMS component, assembly comprising the MEMS component and method for operating the MEMS component
Kaiser, Bert; Monsalve Guaracao, Jorge Mario; Conrad, Holger
Patent
2021MEMS mit hohem Aspektverhältnis
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert
Patent
2021Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten
Shashank, Shashank; Narimani, Keyvan; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Conrad, Holger
Patent
2020Acoustic bending converter system and acoustic device
Kaiser, Bert
Patent
2020Bending transducer as an actuator, bending transducer as a sensor, bending transducer system
Schenk, Hermann; Kaiser, Bert; Ehrig, Lutz
Patent
2020First time of nanoscopic electrostatic drives pushing for ultrasonic transmission for gesture recognition
Monsalve Guaracao, J.M.; Kircher, M.; Wall, F.; Krenkel, M.; Kaiser, B.; Langa, S.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann; Wall, Franziska; Spitz, B.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Acoustic Validation of Electrostatic All-Silicon MEMS-Speakers
Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann A.G.; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Männchen, Andreas; Brocks, Tobias
Konferenzbeitrag
2019Audio-transducer for in-ear-applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators
Spitz, B.; Wall, F.; Schenk, H.A.G.; Melnikov, A.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Electrostatic All-Silicon MEMS Speakers for In-Ear Audio Applications - Acoustic Measurements and Modelling Approach
Ehrig, Lutz; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Langa, Sergiu; Melnikov, Anton; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
Patent
2019Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Stolz, Michael; Mrosk, A.; Kaiser, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2018Advances in component fault trees
Kaiser, B.; Schneider, D.; Adler, R.; Domis, D.; Möhrle, F.; Berres, A.; Zeller, M.; Höfig, K.; Rothfelder, M.
Konferenzbeitrag
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Konzeption und Herstellung von Systemdemonstratoren für miniaturisierte Im-Ohr-Lautsprecher mit drahtlosen Kommunikationsschnittstellen
Horky, Steve
: Kaiser, Bert (Betreuer); Bauer, Reinhard (Betreuer)
Diplomarbeit
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers
Schenk, H.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Uhlig, S.; Kaiser, B.; Langa, S.; Stolz, M.; Schimmanz, K.
Konferenzbeitrag
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al2O3 layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Langa, S.; Wende, U.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert
Patent
2016Modular safety assurance
Boyer, Arnaud; Tenbergen, Bastian; Velasco, Santiago; Antonino, Pablo; Battram, Peter; Buono, Suryo; Kaiser, Bernhard; Zander, Justyna; Bizik, Kai; Prohaska, Alexander; Käßmeyer, Michael
Aufsatz in Buch
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2016Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
Kaiser, Bert
: Schenk, Harald (Betreuer); Bestehorn, Michael (Betreuer); Kupnik, Mario (Betreuer)
Dissertation
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Probabilistic extension of failure net based FMEA
Kaiser, Bernhard; Rauschenbach, Matthias
Konferenzbeitrag
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Zeitschriftenaufsatz
2014Selective laser treatment and laser patterning of metallic and semiconducting nanotubes in single walled carbon nanotube films
Roch, Aljoscha; Roch, Teja; Talens, Esther; Kaiser, Bert; Lasagni, Andrés F.; Beyer, Eckhard; Jost, Oliver; Cuniberti, Gianaurelio; Leson, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2013Berührungspunkte und übergreifende Risiken des Security- und Safety Engineering durch die Vernetzung elektronischer Automobilsysteme mit Internet-Konnektivität
Robinson-Mallett, Christopher; Großmann, Jürgen; Kaiser, Bernd
Konferenzbeitrag
2007State/event fault trees - safety analysis model for software-controlled systems
Kaiser, Bernhard; Gramlich, Catharina; Förster, Marc
Zeitschriftenaufsatz
2006Increased efficiency in the quantitative evaluation of state/event fault trees
Förster, M.; Kaiser, B.
Konferenzbeitrag
2006State/event fault trees. A safety and reliability analysis technique for software-controlled systems
Kaiser, B.
Dissertation
2005An automated dependability analysis method for COTS-based systems
Grunske, L.; Kaiser, B.
Konferenzbeitrag
2005Automatic generation of analyzable failure propagation models from component-level failure annotations
Grunske, L.; Kaiser, B.
Konferenzbeitrag
2005BDD complexity reduction by component fault trees
Kaiser, B.; Zocher, A.
Konferenzbeitrag
2005Continuous assessment of designs and re-use in model-based safety analysis
Papadopoulos, Y.; Grante, C.; Grunske, L.; Kaiser, B.
Konferenzbeitrag
2005Extending the expressive power of fault trees
Kaiser, B.
Konferenzbeitrag
2005Model-driven safety evaluation with state-event-based component failure annotations
Grunske, L.; Kaiser, B.; Papadopoulos, Y.
Konferenzbeitrag
2005Sicherheits- und Zuverlässigkeitsanalysetechniken
Mäckel, O.; Kaiser, B.
Aufsatz in Buch
2005Specification and evaluation of safety properties in a component-based software engineering process
Grunske, L.; Kaiser, B.; Reussner, R.
Aufsatz in Buch
2000Kerbwirkung bei randschichtverfestigten Bauteilen unter zyklischer Beanspruchung
Kaufmann, H.; Kaiser, B.; Oppermann, T.
Konferenzbeitrag