Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1994Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1994Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1993Abnahmemessungen von Reinräumen - Meßgeräte und deren Einsatzgrenzen
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1993Halbleitermesse der Superlative. 45000 Besucher auf der Semicon West in San Francisco
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1993Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1993Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1992The future practice on contamination control. ICCS Symposium
Kahlden, T. von; Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1992Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1992Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1992Monitoring in reinraumtechnischen Anlagen - Statistische Verfahren
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1992Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B.
Zeitschriftenaufsatz
1992Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1992Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Herstellung reinraumgerechter Fertigungsmittel
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Reinraum und Arbeitsbereich. Anforderungen, Umgebungsüberwachung. Federal Standard 209D vom 15. Juni 1988, ersetzt Federal Standard 209C vom 27. Oktober 1987
: Kahlden, T. von
Buch
1991Reinraumgerächt. Bei der Herstellung von Fertigungsmitteln für Reinräume rächen sich kleine Fehler mit großer Wirkung
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1990Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1990Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze
Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Zeitschriftenaufsatz
1990Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1990Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1990Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1990Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1989Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1989Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1989Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.
Zeitschriftenaufsatz
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1989Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Konferenzbeitrag
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1988Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsläufen im Reinraum
Klumpp, B.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1988Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1987Automatisierungs-Gesichtspunkte fuer Halbleiterfertigungsgeraete
Fruehauf, W.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern in der Halbleiterfertigung. Tl.1
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.2
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.3
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie
1985Beruehrungslose Stroemungsgeschwindigkeitsmessung mit dem Laser-Doppler-Anemometer
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1985Im Zehntel-Schritt - beruehrungslose Geschwindigkeitsmessung mit dem Laser-Doppler-Anemometer
Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1985Prozessrechnergesteuertes Laser-Doppler-Anemometer
Denner, W.J.; Schmutz, W.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz