Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018MEMS basierte Ultraschallwandler für die Anwendung in flüssigen und gasförmigen Umgebungen und Möglichkeiten der CMOS Integration
Lange, Nicolas; Grafe, Mario; Koch, Sandro; Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018Monolithic integration for photonic applications: MEMS on CMOS and functional BSOI
Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2017Customized BSOI wafers integration of additional interconnects into the handle wafer
Kaden, Christiane; Langa, Sergiu
Vortrag
2016Prozessanalyse der Tetramethylammoniumhydroxid-Ätzung von Silizium zur Qualitätsverbesserung optischer Gitter
Benter, Sandra
: Schnabel, Hans-Dieter (Betr.); Kaden, Christiane (Betr.)
Bachelor Thesis
2013Wafer level vacuum packaging of micro-mirrors with buried wiring
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Herrmann, Andreas; Ludewig, Thomas; Rieck, Andreas; Flemming, André; Kaden, Christiane
Poster