Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Reducing rowland ghosts in diffraction gratings by dynamic exposure near-field holography
Lin, D.; Chen, H.; Liu, Z.; Dietrich, K.; Kroker, S.; Käsebier, T.; Liu, Y.; Kley, E.-B.; Hong, Y.
Zeitschriftenaufsatz
2017175 nm period grating fabricated by i-line proximity mask-aligner lithography
Bourgin, Y.; Voigt, D.; Käsebier, T.; Siefke, T.; Kley, E.-B.; Zeitner, U.D.
Zeitschriftenaufsatz
2016Black Germanium fabricated by reactive ion etching
Steglich, M.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016Large area gold coated nano-needles fabricated by proximity mask aligner lithography for plasmonic AR-structures
Bourgin, Y.; Michaelis, D.; Käsebier, T.; Dannberg, P.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2016Periodic sub-100nm structures fabricated by proximity i-line mask-aligner lithography (and self-aligned double patterning)
Bourgin, Y.; Voigt, D.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2016Self-organized, effective medium black silicon antireflection structures for silicon optics in the mid-infrared
Steglich, M.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2015Black silicon photovoltaics
Otto, Martin; Algasinger, Michael; Branz, Howard; Gesemann, Thomas; Gimpel, T.; Füchsel, Kevin; Käsebier, Thomas; Kontermann, S.; Koynov, S.; Li, X.; Naumann, Volker; Oh, J.; Sprafke, A.N.; Ziegler, J.; Zilk, Matthias; Wehrspohn, Ralf B.
Zeitschriftenaufsatz
2015Black Silicon Photovoltaics
Füchsel, K.; Kroll, M.; Otto, M.; Steglich, M.; Bingel, A.; Käsebier, T.; Wehrspohn, R.; Kley, E.-B.; Pertsch, T.; Tünnermann, A.
Aufsatz in Buch
2015Double-sided diffractive photo-mask for sub-500nm resolution proximity i-line mask-aligner lithography
Bourgin, Yannick; Siefke, Thomas; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Zeitner, Uwe D.
Konferenzbeitrag
2015Double-sided structured mask for sub-micron resolution proximity i-line mask-aligner lithography
Bourgin, Yannick; Siefke, Thomas; Käsebier, Thomas; Genevee, Pascal; Szeghalmi, Adriana; Kley, Ernst-Bernhard; Zeitner, Uwe D.
Zeitschriftenaufsatz
2015Ge-on-Si photodiode with black silicon boosted responsivity
Steglich, M.; Oehme, M.; Käsebier, T.; Zilk, M.; Kostecki, K.; Kley, Ernst.-Bernhard; Schulze, J.; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2015Self-organized, effective medium Black Silicon for infrared antireflection
Steglich, Martin; Käsebier, Thomas; Schrempel, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2015Strahlungsabsorber
Steglich, Martin; Kley, Ernst Bernhard; Käsebier, Thomas; Lehr, Dennis
Patent
2014250 nm period grating transferred by proximity i-line mask-aligner lithography
Bourgin, Yannick; Käsebier, Thomas; Zeitner, Uwe Detlef
Zeitschriftenaufsatz
2014Black silicon by ICP-RIE and its prospects in photovoltaics
Steglich, Martin; Käsebier, Thomas; Zilk, Matthias; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Influence of black silicon surfaces on the performance of back-contacted back silicon heterojunction solar cells
Ziegler, J.; Haschke, J.; Käsebier, T.; Korte, L.; Sprafke, A.N.; Wehrspohn, R.B.
Zeitschriftenaufsatz
2014Investigation on the angular dependent reflectance of coupled high-contrast gratings
Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Silicon wire grid polarizer for ultraviolet applications
Weber, Thomas; Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2014The structural and optical properties of black silicon by inductively coupled plasma reactive ion etching
Steglich, Martin; Käsebier, Thomas; Zilk, Matthias; Pertsch, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2014An ultra-black silicon absorber
Steglich, Martin; Lehr, Dennis; Ratzsch, Stephan; Käsebier, Thomas; Schrempel, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2013Asymmetric direction selective filter elements based on high-contrast gratings
Steiner, Stefan; Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Voigt, Daniel; Fuchs, Jörg; Fuchs, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Coupled grating reflectors with highly angular tolerant reflectance
Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2013Differential all-optical tuning of eigenmodes in coupled microdisks
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Pertsch, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013High contrast gratings for high-precision metrology
Kroker, Stefanie; Steiner, Stefan; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013High efficiency two-dimensional grating reflectors with angularly tunable polarization efficiency
Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Steiner, Stefan; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2013Investigation of mechanical losses of thin silicon flexures at low temperatures
Nawrodt, R.; Schwarz, C.; Kroker, S.; Martin, I.W.; Bassiri, R.; Brückner, F.; Cunningham, L.; Hammond, G.D.; Heinert, D.; Hough, J.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Neubert, R.; Reid, S.; Rowan, S.; Seidel, P.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2013A normal-incidence PtSi photoemissive detector with black silicon light trapping
Steglich, Martin; Zilk, Matthias; Bingel, Astrid; Patzig, Christian; Käsebier, Thomas; Schrempel, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2013Opto-electronic properties of different black silicon structures passivated by thermal ALD deposited Al2O3
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Li, X.; Gesemann, B.; Füchsel, K.; Ziegler, J.; Sprafke, A.; Wehrspohn, R.B.
Konferenzbeitrag
2013Passivation of optically black silicon by atomic layer deposited Al 2O3
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Ziegler, J.; Sprafke, A.N.; Wehrspohn, R.B.
Konferenzbeitrag
2012Angular bandpass filters based on dielectric resonant waveguide gratings
Steiner, Stefan; Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2012Black silicon for solar cell applications
Kroll, Matthias; Otto, Martin; Käsebier, Thomas; Füchsel, Kevin; Wehrspohn, Ralf; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas; Pertsch, Thomas
Konferenzbeitrag
2012Black silicon photovoltaics
Füchsel, K.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Otto, M.; Pertsch, T.; Kley, E.-B.; Wehrspohn, R.B.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2012Conformal Al2O3 coatings on black silicon by thermal ALD for surface passivation
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Salzer, R.; Wehrspohn, R.B.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Diffractive optical elements based on subwavelength high-contrast gratings
Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Weber, Thomas; Steiner, Stefan; Fuchs, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012An EUV beamsplitter based on conical grazing incidence diffraction
Braig, C.; Fritzsch, L.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Laubis, C.; Liu, Y.; Scholze, F.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2012Extremely low surface recombination velocities in black silicon passivated by atomic layer deposition
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Salzer, R.; Tünnermann, A.; Wehrspohn, R.B.
Zeitschriftenaufsatz
2012High aspect ratio deep UV wire grid polarizer fabricated by double patterning
Weber, Thomas; Käsebier, Thomas; Szeghalmi, Adriana; Knez, Mato; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012High frequency binary amorphous silicon grating working as wire grid polarizer for UV applications
Weber, Thomas; Käsebier, Thomas; Kroker, Stefanie; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012Near-field mapping of optical eigenstates in coupled disk microresonators
Schmidt, Carsten; Liebsch, Mattes; Klein, Angela; Janunts, Norik; Chipouline, Arkadi; Käsebier, Thomas; Etrich, Christoph; Lederer, Falk; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas; Pertsch, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2012Novel direction selective filter elements based on high-contrast gratings
Steiner, Stefan; Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Fuchs, Frank; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012Passivation of optically black silicon wafers by atomic layer deposited Al2O3 films
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Salzer, R.; Ziegler, J.; Sprafke, A.; Wehrspohn, R.B.
Konferenzbeitrag
2012Plasmonic properties of aluminum nanorings generated by double patterning
Lehr, Dennis; Dietrich, Kay; Helgert, Christian; Käsebier, Thomas; Fuchs, Hans-Jörg; Tünnermann, Andreas; Kley, Ernst-Bernhard
Zeitschriftenaufsatz
2012Resolution limits of transmission optics for x-ray astronomy
Braig, Christoph; Burwitz, Vadim; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Predehl, Peter; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012Tungsten wire grid polarizer for applications in the DUV spectral range
Weber, Thomas; Käsebier, Thomas; Helgert, Michael; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2012Tuning the reflectivity of high contrast gratings based on silicon and silica by means of wet etching with hydrofluoric acid
Jacobitz, Tassilo; Kroker, Stefanie; Käsebier, Thomas; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2011Broadband iridium wire grid polarizer for UV applications
Weber, T.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Coupled disk microresonators
Schmidt, C.; Liebsch, M.; Chipouline, A.; Janunts, N.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünermann, A.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2011Effects of metallic nanoparticle arrays in Si solar cell structures
Benkenstein, T.; Flämmich, M.; Harzendorf, T.; Käsebier, T.; Michaelis, D.; Oliva, M.; Wächter, C.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2011High aspect ratio iridium wire grid polarizer for UV applications
Weber, T.; Käsebier, T.; Szeghalmi, A.; Knez, M.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Reflective cavity couplers based on resonant waveguide gratings
Kroker, S.; Käsebier, T.; Brückner, F.; Fuchs, F.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Stand-alone diamond binary phase transmission gratings for the EUV band
Braig, C.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Surface passivation of black silicon by thermal ALD deposited aluminum oxide
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Ernst, M.; Salzer, R.; Wehrspohn, R.B.
Konferenzbeitrag
2011Temperature induced nonlinearity in coupled microresonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Pertsch, T.
Zeitschriftenaufsatz
2010Conformal transparent conducting oxides on black silicon
Otto, M.; Kroll, M.; Käsebier, T.; Lee, S.-M.; Putkonen, M.; Salzer, R.; Miclea, P.T.; Wehrspohn, R.B.
Zeitschriftenaufsatz
2010Nanostructured SIS solar cells
Füchsel, K.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Optical modeling of needle like silicon surfaces produced by an ICPRIE process
Kroll, M.; Käsebier, T.; Otto, M.; Salzerc, R.; Wehrspohn, R.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Pertsch, A.
Konferenzbeitrag
2010Strukturierte Siliziumschicht für ein optoelektronisches Bauelement und optoelektronisches Bauelement
Füchsel, K.; Kley, E.B.; Käsebier, T.; Kroll, M.; Pertsch, T.
Patent
2010Thermal nonlinear effects in hybrid silica/polymer microdisks
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.; Pertsch, T.
Zeitschriftenaufsatz
2009Broadband antireflective structures applied to high resistive float zone silicon in the THz spectral range
Brückner, C.; Käsebier, T.; Pradarutti, B.; Riehemann, S.; Notni, G.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2009Experimental and theoretical investigation of microresonators at Jena university
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Deych, L.I.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2009Nonlinear effects in silica and hybrid silica/silicon disc micro resonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Chowdhury, G.K.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Deych, L.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2009Nonlinear optical response of silica and hybrid silica/silicon disc micro resonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Deych, L.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2009Observation of optical coupling in microdisk resonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Pertsch, T.; Shuvayev, V.; Deych, L.I.
Zeitschriftenaufsatz
2009Spectral characteristics of coupled silica disc micro resonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Deych, L.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Kley, E.-B.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2009Spectral properties of coupled silica disc micro resonators
Schmidt, C.; Chipouline, A.; Käsebier, T.; Deych, L.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Pertsch, T.
Konferenzbeitrag
2008Broadband antireflective structures for the THz spectral range fabricated on high resistive float zone silicon
Brückner, C.; Käsebier, T.; Pradarutti, B.; Riehemann, S.; Notni, G.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag