Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation
Deuter, Valerie; Grochowicz, Maciej; Brose, Sascha; Biller, Jan; Danylyuk, Serhiy; Taubner, Thomas; Siemion, Agnieszka; Grützmacher, Detlev; Juschkin, Larissa
Zeitschriftenaufsatz
2019EUV-LET 2.0: A compact exposure tool for industrial research at a wavelength of 13.5nm
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Bahrenberg, Lukas; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Juschkin, Larissa
Konferenzbeitrag
2016Flächendetektor für EUV- und/oder weiche Röntgenstrahlung
Herbert, Stefan; Juschkin, Larissa; Danylyuk, Serhiy; Müller, Bernhard
Patent
2012Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
Zeitschriftenaufsatz