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2020 | Dreidimensionaler Nanostrukturkörper und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Nanostrukturkörpers Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas | Patent |
2020 | Monolithic integration and analysis of vertical, partially encapsulated nanoelectrode arrays Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Staufer, Oskar; Seidl, Karsten; Vogt, Holger | Zeitschriftenaufsatz |
2019 | Development of a multi channel piezoelectric flexural plate wave BioMEMS-sensor for rapid point-of-care diagnostics Wiemann, Matthias; Walk, Christian; Greifendorf, Dieter; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten | Konferenzbeitrag |
2019 | Entwicklung eines BIOMEMS-Sensors für die Vor-Ort-Diagnose auf Basis der Detektion von Frequenzverschiebungen der Biegewellen von funktionalisierten Membranen Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten | Konferenzbeitrag |
2019 | Fabrication of partly encapsulated vertical nanoelectrodes for an intracellular microelectrode array Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2019 | Herstellung nano-skalierter Gassensoren unter Verwendung neuer Metalloxid-ALD-Precursormaterialien Knauß, Anna M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Mai, Lukas; Devi, Anjana | Konferenzbeitrag |
2019 | Mikrostrukturierung für super-hydrophobe Oberflächen in Electrowetting Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2019 | Optimization of the dielectric layer for electrowetting on dielectric Türk, Semih; Schug, Alexander; Viga, Reinhard; Jupe, Andreas; Vogt, Holger | Zeitschriftenaufsatz |
2019 | A piezoelectric flexural plate wave (FPW) Bio-MEMS sensor with improved molecular mass detection for point-of-care diagnostics Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten | Zeitschriftenaufsatz |
2019 | A piezoelectric flexural plate wave (FPW) Bio-MEMS sensor with improved molecular mass detection for point-of-care diagnostics Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
2018 | Analysis and simulation of super-hydrophobic layers for micro-fluidic applications Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2018 | Decreasing the actuation voltage in electrowetting on dielectric with thin and micro-structured dielectric Türk, Semih; Verheyen, Erik; Viga, Reinhard; Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2018 | Development of a piezoelectric flexural plate-wave (FPW) bioMEMS-sensor for rapid point-of-care diagnostics Jupe, Andreas; Livshits, Pavel; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas | Konferenzbeitrag |
2018 | Penetrating nanoelectrodes for an electrical cell interface on CMOS ASIC Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Utz, Alexander; Schaal, Christopher; Rustom, Amin; Kappert, Holger; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2018 | Thin film ALD materials as functional layer for 3D-integrated metal oxide gas-sensors Knauß, Anna M.; Münchenberger, Finja M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2017 | Development of micro electromechanical biosensor for fast detection of respiratory syncytial virus infections in newborns Livshits, Pavel; Jupe, Andreas; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas | Zeitschriftenaufsatz, Poster |
2017 | Fabrication and electrochemical characterization of ruthenium nanoelectrodes Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger | Zeitschriftenaufsatz |
2017 | Tapering of nanoelectrodes for an intracellular contact via a double hard mask technique Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2017 | Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2016 | Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Andrei; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2016 | Post-CMOS integrated ALD 3D micro- and nanostructures and application for multi-electrode arrays Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2015 | ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Feizi, Khadijeh; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2015 | Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2014 | Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael | Zeitschriftenaufsatz |
2013 | CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2013 | Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |
2013 | Integrierte Sensorstruktur Vogt, Holger; Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas | Patent |
2012 | Direct integration of carbon nanotubes on CMOS with high-temperature tungsten metallization Jupe, Andreas; Hoeren, André; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger | Konferenzbeitrag |