Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Development of a multi channel piezoelectric flexural plate wave BioMEMS-sensor for rapid point-of-care diagnostics
Wiemann, Matthias; Walk, Christian; Greifendorf, Dieter; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten
Konferenzbeitrag
2019Fabrication of partly encapsulated vertical nanoelectrodes for an intracellular microelectrode array
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2019Optimization of the dielectric layer for electrowetting on dielectric
Türk, Semih; Schug, Alexander; Viga, Reinhard; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2019A piezoelectric flexural plate wave (FPW) Bio-MEMS sensor with improved molecular mass detection for point-of-care diagnostics
Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten
Zeitschriftenaufsatz
2018Analysis and simulation of super-hydrophobic layers for micro-fluidic applications
Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Decreasing the actuation voltage in electrowetting on dielectric with thin and micro-structured dielectric
Türk, Semih; Verheyen, Erik; Viga, Reinhard; Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Development of a piezoelectric flexural plate-wave (FPW) bioMEMS-sensor for rapid point-of-care diagnostics
Jupe, Andreas; Livshits, Pavel; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Penetrating nanoelectrodes for an electrical cell interface on CMOS ASIC
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Utz, Alexander; Schaal, Christopher; Rustom, Amin; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Thin film ALD materials as functional layer for 3D-integrated metal oxide gas-sensors
Knauß, Anna M.; Münchenberger, Finja M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017Development of micro electromechanical biosensor for fast detection of respiratory syncytial virus infections in newborns
Livshits, Pavel; Jupe, Andreas; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag, Poster
2017Fabrication and electrochemical characterization of ruthenium nanoelectrodes
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2017Tapering of nanoelectrodes for an intracellular contact via a double hard mask technique
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Andrei; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016Post-CMOS integrated ALD 3D micro- and nanostructures and application for multi-electrode arrays
Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2015ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen
Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Feizi, Khadijeh; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2015Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen
Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2014Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2013CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays
Jupe, Andreas; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2013Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik
Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2013Integrierte Sensorstruktur
Vogt, Holger; Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas
Patent
2012Direct integration of carbon nanotubes on CMOS with high-temperature tungsten metallization
Jupe, Andreas; Hoeren, André; Goehlich, Andreas; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag