Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Feasibility evaluation of virtual metrology for the example of a trench etch process
Roeder, G.; Winzer, S.; Schellenberger, M.; Jank, S.; Pfitzner, L.
Zeitschriftenaufsatz
2013Virtual metrology for prediction of etch depth in a trench etch process
Roeder, G.; Schellenberger, M.; Pfitzner, L.; Winzer, S.; Jank, S.
Konferenzbeitrag