Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Aluminium-, Titan- und Silizium-basierte Oxidschichten für verschiedene Anwendungen mittels ALD
Krug, M.; Endler, I.; Benner, F.; Dirnstorfer, I.; Müller, J.; Sundqvist, J.; Rose, M.; Jakschik, S.; Weber, J.; Liepack, H.
Konferenzbeitrag
2012Intrinsic MOSFET leakage of high-k peripheral DRAM devices: Measurement and simulation
Roll, G.; Jakschik, S.; Goldbach, M.; Wachowiak, A.; Mikolajick, T.; Frey, L.
Konferenzbeitrag
2011Analysis of the effect of germanium preamorphization on interface defects and leakage current for high-k metal-oxide-semiconductor field-effect transistor
Roll, G.; Jakschik, S.; Goldbach, M.; Wachowiak, A.; Mikolajick, T.; Frey, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Dielectric backside passivation - improvements by dipole optimization
Jakschik, S.; Erben, E.; Benner, F.; Kupke, S.; Dirnstorfer, I.; Rose, M.; Endler, I.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2011Impact of carbon junction implant on leakage currents and defect distribution: Measurement and simulation
Roll, G.; Jakschik, S.; Burenkov, A.; Goldbach, M.; Mikolajick, T.; Frey, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2010Carbon junction implant: Effect on leakage currents and defect distribution
Roll, G.; Jakschik, S.; Goldbach, M.; Mikolajick, T.; Frey, L.
Konferenzbeitrag