Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Nanoindentation for reliability assessment of ULK films and interconnects structures
Yeap, K.B.; Iacopi, F.; Geisler, H.; Hangen, U.; Zschech, E.
Zeitschriftenaufsatz
2007Thermomechanical properties of thin organosilicate glass films treated with ultraviolet-assisted cure
Iacopi, F.; Beyer, G.; Travaly, Y.; Waldfried, C.; Gage, D.M.; Dauskardt, R.H.; Houthoofd, K.; Jacobs, P.; Adriaensens, P.; Schulze, K.; Schulz, S.E.; List, S.; Carlotti, G.
Zeitschriftenaufsatz