Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Extreme scale-out SuperMUC phase 2 - lessons learned
Hammer, N.; Jamitzky, Ferdinand; Satzger, Helmut; Allalen, M.; Block, A.; Karmakar, A.; Brehm, M.; Bader, R.; Iapichino, L.; Ragagnin, A.; Karakasis, V.; Kranzlmüller, D.; Bode, A.; Huber, H.; Kühn, M.; Machado, R.; Grünewald, D.; Edelmann, P.V.F.; Röpke, F.K.; Wittmann, M.; Zeiser, T.; Wellein, G.; Mathias, G.; Schwörer, M.; Lorenzen, K.; Federrath, C.; Klessen, R.; Bamberg, K.-U.; Ruhl, H.; Schornbaum, F.; Bauer, M.; Nikhil, A.; Qi, J.; Klimach, H.; Stüben, H.; Deshmukh, A.; Falkenstein, T.; Dolag, Klaus; Petkova, M.
Konferenzbeitrag
2001Äthernetz. Physikalische und technische Aspekte drahtloser Netze
Huber, H.W.; Krause, O.; Glendown, G.
Zeitschriftenaufsatz
2001Schwärmende Roboter
Huber, H.W.; Krause, O.
Zeitschriftenaufsatz
1996Arbeiten zur Röntgentiefenlithographie
Scheunemann, H.U.; Oertel, H.K.; Huber, H.L.
Aufsatz in Buch
1994Adhesion problems in deep-etch X-ray lithography caused by fluorescence radiation from the plating-base
Pantenburg, F.J.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Schulz, J.; Oertel, H.K.; Chlebek, J.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1994Galvanoplated 3D coils for micro systems
Löchel, B.; Macioßek, A.; König, M.; Quenzer, H.J.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1994Galvanoplated 3D structures for micro systems
Löchel, B.; Maciossek, A.; König, M.; Quenzer, H.J.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1994Impact of chuck flatness on wafer distortion and stepper overlay - comparison of experimental and FEM results
Stauch, H.; Simon, K.; Scheunemann, H.U.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1993Application of e-beam nanolithography for absorber structuring of high resolution x-ray masks
Köhler, C.; Brünger, W.H.; Ehrlich, C.; Huber, H.-L.; Reimer, K.
Zeitschriftenaufsatz
1993Diamond membrane with controlled stress for submicron lithography
Schäfer, L.; Bluhm, A.; Klages, C.-P.; Löchel, B.; Buchmann, L.-M.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1993Diamond membranes with controlled stress for submicron lithography
Bluhm, A.; Löchel, B.; Buchmann, L.-M.; Huber, H.-L.; Klages, C.-P.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1993Fabrication of magnetic microstructures by using thick layer resists
Löchel, B.; Maciossek, A.; König, M.; Huber, H.-L.; Bauer, G.
Konferenzbeitrag
1993Impact of chuck flatness on wafer distortion and stepper overlay
Simon, K.; Huber, H.-L.; Gabeli, F.; Scheunemann, H.U.
Konferenzbeitrag
1993Nanostructure patterning with SOR X-ray lithography
Chlebek, J.; Huber, H.-L.; Oertel, H.K.; Reimer, K.
Konferenzbeitrag
1993Sub-100 nm pattern generation by means of focused electrons, ion projection and x-ray lithography
Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1993Weiterentwicklung der Röntgenlithographie
Huber, H.-L.
Aufsatz in Buch
1992Complete X-ray lithography processing of an 8-level 0.4 micron CMOS test device
Staudt-Fischbach, P.; Windbracke, W.; Bernt, H.; Zwicker, G.; Friedrich, D.; Hemicker, P.; Lange, P.; Schliwinski, H.-J.; Huber, H.-L.; Scheunemann, U.; Simon, K.
Konferenzbeitrag
1992Diamond membrane based X-ray masks
Löchel, B.; Huber, H.-L.; Klages, C.-P.; Schäfer, L.; Bluhm, A.
Konferenzbeitrag
1992Diamond membrane based x-ray masks
Huber, H.-L.
Tagungsband
1992Diamond membranes for X-ray masks
Löchel, B.; Schliwinski, H.-J.; Huber, H.-L.; Trube, J.; Klages, C.-P.; Lüthje, H.; Schäfer, L.
Konferenzbeitrag
1992In situ temperature and distortion measurements of x-ray masks during SR-lithography
Trube, J.; Bernt, H.; Engler, K.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1992The influence of post-exposure bake on linewidth control for the resist system RAY-PN-AZPN 100- in X-ray mask fabrication
Chlebek, J.; Schulz, T.; Huber, H.-L.; Grimm, J.
Zeitschriftenaufsatz
1991Chefinformationssysteme - CIS
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Koll, P.
Zeitschriftenaufsatz
1991The influence of post-exposure bake on linewidth control for the resist system RAY-PN-AZPN 100- in X-ray mask fabrication
Chlebek, J.; Schulz, T.; Grimm, J.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1991Investigation of the process latitude for sub-half-micron pattern replication in x-ray lithography
Oertel, H.K.; Huber, H.-L.; Weiß, M.
Konferenzbeitrag
1991Modelling of illumination effects on resist profiles in X-ray lithography
Oertel, H.; Weiß, M.; Huber, H.-L.; Vladimirsky, Y.; Maldonado, J.R.
Konferenzbeitrag
1991PC-Software im Test. Die benutzerfreundlichsten Programme aus 50 Standard-Softwarepaketen
Huber, H.; Kläger, W.; Vogel, P.
Buch
1991Status of the compact synchrotron radiation source cosy and first exposure experiments
Schmidt, M.; Oertel, D.W.; Hartrott, M.v.; Weihreter, E.; Oertel, H.K.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1991Thickness inhomogeneity during silicon X-ray mask membrane fabrication: generation and prevention
Löchel, B.; Macioßek, A.; Huber, H.-L.; König, M.
Konferenzbeitrag
1990Chef-Informationssysteme. Navigationsinstrumente fuer das Topmanagement
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Koll, P.
Zeitschriftenaufsatz
1990Computer Integrated Business
Bullinger, H.-J.; Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Infrared-measurement of X-ray mask heating during SR-lithography
Trube, J.; Huber, H.-L.; Mourikis, S.; Koch, E.E.; Bernstoff, S.
Konferenzbeitrag
1990Integration von CIM und Buerokommunikation. Keine reine Technikfrage
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Marktspiegel. Warenwirtschaftssysteme fuer den Grosshandel. Funktionsbeschreibung von 76 Warenwirtschaftssystemen fuer Grosshaendler
Bullinger, H.-J.; Georgiadis, G.; Huber, H.; Niemeier, J.
Buch
1990Office Commander - ein rechnergestuetzter Methodenbaukasten zur Planung und Gestaltung von Informations- und Kommunikationssystemen
Huber, H.; Niemeier, J.; Vogel, P.
Aufsatz in Buch
1990Office-Commander. Ein rechnergestuetzter Methodenbaukausten zur Planung und Gestaltung von Informations- und Kommunikationssystemen
Huber, H.; Niemeier, J.; Vogel, P.
Aufsatz in Buch
1990PC-Netzwerke als Basis fuer Buerokommunikation
Huber, H.
Konferenzbeitrag
1990Procedure and results of mask fabrication via X-ray lithography
Grimm, J.; Trube, J.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1990Silicon membrane mask blanks for X-ray and ion projection lithography
Löchel, B.; Chlebek, J.; Huber, H.-L.; Macioßek, A.; Grimm, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1990Ultraduenne Membrane mit Stuetzrand
Loechel, B.; Huber, H.L.; Werner, E.; Derkow, H.
Patent
1990Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dichte von Mikroporen in Isolatorschichten auf leitenden oder halbleitenden Substraten
Grimm, J.; Loechel, B.; Chlebek, J.; Huber, H.L.
Patent
1990Wettbewerbsorientierte Planung verteilter CAX-Komponenten
Poestges, A.; Huber, H.
Konferenzbeitrag
1990Which information systems do managers really need?
Bullinger, H.-J.; Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Abschied von Taylor - Arbeitsteilige Organisation verhindert Integration
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Niemeier, J.
Zeitschriftenaufsatz
1989Application of pulse plating to form lead absorber patterns for x-ray masks
Löchel, B.; Trube, J.; Windbracke, W.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1989CIB - Die Integration von CIM und Bürokommunikation
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Computer Integrated Business - CIB
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Niemeier, J.
Aufsatz in Buch
1989Computer-aided resist modelling with extended xmas in X-ray lithography
Chlebek, J.; Huber, H.-L.; Oertel, H.; Dammel, R.; Lingnau, J.; Theis, J.; Weiß, M.
Zeitschriftenaufsatz
1989Fabrication of 0.5 mym MOS test devices by application of X-ray lithography at all levels
Friedrich, D.; Bernt, H.; Windbracke, W.; Zwicker, G.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1989Fabrication of 0.5 myn- and p-type metal-oxide-semiconductor test devices using x-ray lithography
Zwicker, G.; Windbracke, W.; Bernt, H.; Friedrich, D.; Huber, H.-L.; Krullmann, E.; Pelka, M.; Lange, P.; Hermicker, P.; Staudt-Fischbach, P.
Zeitschriftenaufsatz
1989Fabrication of sub-half mym patterns for MOS devices by beams of X-ray lithography and plasma etching
Windbracke, W.; Huber, H.-L.; Staudt, P.; Zwicker, G.
Zeitschriftenaufsatz
1989Integrationsstufen zur Realisierung von computer-integrated-business -CIM-
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Niemeier, J.
Konferenzbeitrag
1989Management-Informationssysteme -MIS-. Marktanalyse, Produktvergleich
Huber, H.
Buch
1989Negative-tone high-resolution photocatalytic resist for X-ray lithography
Huber, H.-L.; Oertel, H.; Trube, J.; Dammel, R.; Dössel, K.F.; Lingnau, J.; Theis, J.
Zeitschriftenaufsatz
1989State of the art of pattern placement accuracy of silicon X-ray master masks
Pongratz, S.; Mescheder, U.; Ehrlich, C.; Huber, H.-L.; Kohlmann, K.; Windbracke, W.
Konferenzbeitrag
1989Verfahren zur Herstellung von Siliziummembranen
Betz, H.; Chlebek, J.; Huber, H.L.
Patent
1989Verfahren zur lokalen Erhoehung der optischen Transparenz von Siliziummembranen
Chlebek, J.; Erbar, D.; Huber, H.L.
Patent
1988Chancen und Probleme auf dem Weg zur integrierten Buerokommunikation
Bullinger, H.-J.; Niemeier, J.; Huber, H.
Aufsatz in Buch
1988CIM und Bürokommunikation - Planung gesamtbetrieblich integrierter Informationssysteme
Huber, H.; Niemeier, J.
Zeitschriftenaufsatz
1988Fraunhofer testet fuer Sie 16 der wichtigsten Programme fuer den PC
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1988Roentgenmaske aus mit Siliziumnitridschichten kombiniertem Silizium und Verfahren zu ihrer Herstellung
Betz, H.; Csepregi, L.; Huber, H.L.; Windbracke, W.
Patent
1988Subhalf micron critical dimension control in X-ray lithography mask technology
Mescheder, U.; Mund, F.; Trube, J.; Windbracke, W.; Huber, H.-L.; Pongratz, S.
Konferenzbeitrag
1988Vom Pflichtenheft zur technischen Lösung
Huber, H.
Aufsatz in Buch
1987Application of lead electroplating for X-ray absorber patterning
Trube, J.; Huber, H.-L.; Löchel, B.; Windbracke, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Bürokommunikation und Großrechnersysteme
Huber, H.
Konferenzbeitrag
1987Computer-Integrated Business -CIB- Systeme
Bullinger, H.-J.; Niemeier, J.; Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Fabrication of halfmicron MOSFETs by means of X-ray lithography
Huber, H.-L.; Lauer, V.; Bauer, F.; Korec, J.; Balk, P.
Zeitschriftenaufsatz
1987Ein fehlertoleranter, testfreundlicher Assoziativspeicher
Großpietsch, K.-E.; Huber, H.; Müller, A.
Aufsatz in Buch
1987Half micrometer N-MOS technology using X-ray lithography
Huber, H.-L.; Lauer, V.; Bauer, F.; Korec, J.; Balk, P.
Konferenzbeitrag
1987Influence of phase shift on pattern transfer in X-rax lithography
Oertel, H.; Huber, H.-L.; Weiß, M.
Zeitschriftenaufsatz
1987The influence of photoelectronics and fluorescence radiation on resolution in X-rax lithography
Chlebek, J.; Heuberger, A.; Huber, H.-L.; Betz, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Informationsverarbeitung als Unternehmungsstrategie
Bullinger, H.-J.; Huber, H.; Friedrich, R.; Niemeier, J.
Aufsatz in Buch
1987Linewidth metrology for X-rax masks with subhalfmicron feature size
Huber, H.-L.; Mescheder, U.; Mund, F.
Zeitschriftenaufsatz
1987Moderne Informationstechnik als gesellschaftliche und unternehmerische Herausforderung
Bullinger, H.-J.; Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Photocatalytic novolak - based positive resist for X-ray lithography - kinetics and simulation
Huber, H.-L.; Oertel, H.; Dössel, K.F.; Dammel, R.; Lingnau, J.; Theis, J.
Zeitschriftenaufsatz
1987Radiation damage effects in boron nitride mask membranes subjected to x-ray exposures
Betz, H.; Huber, H.-L.; Oertel, H.; Johnson, W.A.; Levy, R.A.; Resnick, D.J.; Saunders, T.E.; Yanof, A.W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Software im Impulse-Test. 9 mal Textverarbeitung
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Temperaturänderungen von Silizium-Membranen durch Absorption von Röntgenstrahlung
Trube, J.; Huber, H.-L.
Abstract
1987Verfahren zur Praeparation von Naehgarnen aus Synthesefasern
Kassenbeck, P.; Marfels, H.; Huber, H.; Neukirchner, A.
Patent
1987Zweigleisig kommt man nicht zum Ziel
Niemeier, J.; Huber, H.; Bullinger, H.-J.
Zeitschriftenaufsatz
1987Eine Zwischenloesung, die Kosten spart. Buerokommunikation mit dem Host
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1986The concept of a fault-tolerant and easily-testable associative memory
Großpietsch, K.-E.; Huber, H.; Müller, A.
Konferenzbeitrag
1986Critical dimension control in x-ray masks with electroplated gold absorbers
Windbracke, W.; Betz, H.; Huber, H.-L.; Pilz, W.; Pongratz, S.
Konferenzbeitrag
1986Guter Rat zur Informations- und Kommunikationstechnik
Huber, H.; Maier, T.
Zeitschriftenaufsatz
1986Highly-sensitive novolak-based positive x-ray resist
Huber, H.-L.; Oertel, H.; Doessel, K.-F.
Konferenzbeitrag
1986Informationsverarbeitung in Klein- und Mittelbetrieben - Wer den Anschluss verpasst..
Huber, H.; Maier, T.
Zeitschriftenaufsatz
1986Integrierte Buerosysteme auf dem Weg in den Mittelstand. Aufgaben und Erfahrungen des BIT-Beratungszentrums in Baden-Wuerttemberg
Huber, H.
Konferenzbeitrag
1986Resolution limits in x-ray lithography calculated by means of x-ray lithography simulator XMAS
Betz, H.; Heinrich, K.; Heuberger, A.; Huber, H.-L.; Oertel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1986Silicon x-ray masks - pattern placement and overlay accuracy
Betz, H.; Huber, H.-L.; Pongratz, S.; Rohrmoser, W.; Windbracke, W.; Mescheder, U.
Konferenzbeitrag
1986Die Verwaltungskosten spuerbar senken
Huber, H.
Zeitschriftenaufsatz
1985Synchrotron lithography - the way to sub-micron features with single layer resist
Huber, H.-L.; Betz, H.; Heuberger, A.
Aufsatz in Buch
1984Application of diazo-type resists in synchrotron lithography
Huber, H.-L.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.
Konferenzbeitrag
1981Veränderungen an Polymermaterialien durch die Einwirkung von Stickstoffdioxid. Teil 2
Huber, H.; Jörg, F.
Zeitschriftenaufsatz
1981Veränderungen an Polymermaterialien durch Einwirkung von Stickstoffdioxid. Teil 1
Huber, H.J.; Joerg, F.
Zeitschriftenaufsatz
1979Einfluss von Stickstoffdioxid auf Polymere
Huber, H.; Joerg, F.
Zeitschriftenaufsatz
1975Einfluss von Stickstoffoxiden auf Kunststoffe
Huber, H.; Jörg, F.
Zeitschriftenaufsatz
1975Impfstoffzubereitung zur oralen Pockenimpfung
Gramlich, W.; Hochstein Mintzel, V.; Huber, H.C.; Pfeifer, W.; Stickl, H.
Patent