Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren zur hochauflösenden Abbildung eines Oberflächenbereiches bei streifendem Einfall der Messstrahlung
Bahrenberg, Lukas; Herbert, Stefan; Danylyuk, Serhiy
Patent
2016Flächendetektor für EUV- und/oder weiche Röntgenstrahlung
Herbert, Stefan; Juschkin, Larissa; Danylyuk, Serhiy; Müller, Bernhard
Patent
2012Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
Zeitschriftenaufsatz