Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Multifunctional high-reflective and antireflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007A new method for high-rate deep dry etching of silicate glass with variable ETCH profile
Bertz, A.; Fendler, R.; Schuberth, R.; Hentsch, W.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2006"SV in-line" equipment concept with uninterrupted stream of substrate carriers for reactive sputtered optical multi layer coatings
Hentsch, W.; Fendler, R.; Krug, M.; Liepack, H.; Goedicke, K.; Frach, P.; Gottfried, C.
Konferenzbeitrag
2006Multi-functional high-reflective and anti-reflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag
2005Innovative stationary sputter technologies for precision optical and antireflection coatings
Bartzsch, H.; Frach, P.; Hentsch, W.
Konferenzbeitrag
2004Industrial precision deposition for microelectronics and next generation hard disk
Berthold, J.; Hentsch, W.; Hilgers, H.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Seifried, S.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
2003Gefilterte Bogenbeschichtung - alte Probleme und neue Lösungen
Zimmer, O.; Siemroth, P.; Berthold, J.; Hilgers, H.; Hentsch, W.
Zeitschriftenaufsatz
1995Advantageous possibilities, design aspects and technical use of double ring magnetron sputter source
Frach, P.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Gottfried, C.; Walde, H.; Hentsch, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz