Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Data Driven Approach for Battery State Estimation Based on Neural Networks
Heinrich, Felix; Lehmann, Thomas; Jonas, Konstantin; Pruckner, Marco
Konferenzbeitrag
2021Development of handling system concepts for additive process chains with Laser Powder Bed Fusion (L-PBF)
Horstkotte, Rainer; Heinrich, Florian; Prümmer, Marcel; Arntz, Kristian; Bergs, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2021Generation and evaluation of automation concepts of additive process chains with Laser Powder Bed Fusion (L-PBF)
Horstkotte, Rainer; Heinrich, Florian; Prümmer, Marcel; Arntz, Kristian; Bergs, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2020A bi-axial vacuum-packaged piezoelectric MEMS mirror for smart headlights
Senger, F.; Albers, J.; Hofmann, U.; Piechotta, G.; Giese, T.; Heinrich, F.; Wantoch, T. von; Gu-Stoppel, S.
Konferenzbeitrag
2020Novel UV-transparent 2-component polyurethane resin for chip-on-board LED micro lenses
Bauer, Joachim; Gutke, Marco; Heinrich, Friedhelm; Edling, Matthias; Stoycheva, Vesela; Kaltenbach, Alexander; Burkhardt, Martin; Gruenefeld, Martin; Gamp, Matthias; Gerhard, Christoph; Steglich, Patrick; Steffen, Sebastian; Herzog, Michael; Dreyer, Christian; Schrader, Sigurd
Zeitschriftenaufsatz
2020Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR
Schwarz, F.; Senger, F.; Albers, J.; Malaurie, P.; Janicke, C.; Pohl, L.; Heinrich, F.; Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Lofink, F.; Bahr, A.; Wantoch, T. von; Hofmann, U.
Konferenzbeitrag
2017MEMS switch with prolonged lifetime under hot switching conditions based on gold as contact material
Lisec, T.; Stoppel, F.; Kaden, D.; Heinrich, F.; Neumann, A.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2016Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
Quenzer, Hans Joachim; Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Heinrich, Felix
Patent
2015A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Heinrich, F.; Janes, J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2014High frequency 1D piezoelectric resonant microscanners with large displacements
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Heinrich, F.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
2003Vorrichtung zur grossflaechigen Plasmaerzeugung
Heinrich, F.; Baenziger, U.
Patent
1999Vorrichtung zur plasmaunterstuetzten Bearbeitung von Substraten
Heinrich, F.; Hoffmann, P.
Patent
1997Multichannel process monitor for realtime film thickness and rate measurements in dry etching and deposition
Heinrich, F.; Heinze, D.; Kowalski, T.; Hoffmann, P.; Kopperschmidt, P.
Konferenzbeitrag
1995Diagnostics and poly-Si gate process development at new microwave coupled plasma source etching system
Hoffmann, P.J.; Heinrich, F.; Renner, S.; Deutschmann, L.
Konferenzbeitrag
1995Novel high density plasma tool for large area flat panel display etching
Heinrich, F.; Bänzinger, U.; Jentzsch, A.; Neumann, G.; Huth, C.
Konferenzbeitrag
1995Online uniformity measurements in large area plasma assisted etching and depositon
Heinrich, F.
Konferenzbeitrag
1993Analysis and control of ion beam processing by optical spectroscopy
Heinrich, F.; Hoffmann, P.
Zeitschriftenaufsatz
1993Fragmentation processes in reactive molecular ion beam etching
Hoffmann, P.; Stoll, H.-P.; Heinrich, F.
Zeitschriftenaufsatz
1993Fragmentational collisions in reactive ion beam processing
Hoffmann, P.; Heinrich, F.
Zeitschriftenaufsatz
1993Line shape measurements in CF4/O2 and SF6 of discharges
Heinrich, F.
Konferenzbeitrag
1992Ion beam diagnostics by Doppler shifted light emissions
Stoll, H.-P.; Hoffmann, P.; Scheer, H.-C.; Heinrich, F.
Zeitschriftenaufsatz
1992Das Modellvorhaben "Zeitvariabler Stromtarif". Abschlußbericht
Hegemann, K.H.; Hein, L.; Heinrich, F.; Jager, P.; Kuhn, P.; Plöger, W.; Rose, B.; Schlomann, B.
Buch
1991Fragmentation in magnetically enhanced reactive ion etching - a LIF and OES study in a CF4 discharge
Heinrich, F.
Zeitschriftenaufsatz
1991Laser-induced fluorescence and emission spectroscopic study of magnetic field effects in a low-pressure etch plasma
Hoffmann, P.; Heinrich, F.
Zeitschriftenaufsatz
1990Analysis of a CF4/O2 plasma using emission, laser-induced fluorescence, mass, and Langmuir spectroscopy
Buchmann, L.-M.; Heinrich, F.; Hoffmann, P.; Janes, J.
Zeitschriftenaufsatz
1990Energy analysis of neutral atoms in broad oxygen ion beams by Doppler-shift measurements
Heinrich, F.; Stoll, H.-P.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, P.
Zeitschriftenaufsatz
1990Optical emission spectroscopy for in-situ diagnostics in RIBE and RIE: Velocity selective detection of particles in broad ion beams and a new method for etch rate and endpoint determination
Heinrich, F.; Stoll, H.-P.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, P.
Konferenzbeitrag
1990Verfahren zur Ueberwachung von Ionen-unterstuetzten Bearbeitungsvorgaengen an Wafern und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Heinrich, F.
Patent
1989Magnetically enhanced reactive ion etching -MERIE- with different field configurations
Heinrich, F.; Mader, H.; Müller, K.P.
Zeitschriftenaufsatz
1989New and simple optical method for in situ etch rate determination and endpoint detection
Heinrich, F.; Stoll, H.-P.; Scheer, H.-C.
Zeitschriftenaufsatz
1989Optical and mass spectroscopic analysis of SF6 RIE plasmas for modelling of poly-silicon etching
Hoffmann, P.; Heinrich, F.
Konferenzbeitrag
1989Optical emission spectroscopy for analysis of broad ion beams
Heinrich, F.; Stoll, H.-P.; Scheer, H.-C.; Hoffmann, P.
Zeitschriftenaufsatz
1989Parametric studies of SF6 silicon etching in a 200 mm RIE system
Hoffmann, P.; Heinrich, F.; Pilz, W.
Konferenzbeitrag
1988Performance of an 8" RIE etching system - the effect of cathode cover mateials
Hoffmann, P.; Heinrich, F.; Pilz, W.; Scheer, H.-C.; Hussla, I.; Cairns, J.; Banks, P.; Angus, R.
Konferenzbeitrag