Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Optische Anordnung zur spektralen Zerlegung von Licht
Flügel-Paul, Thomas; Harzendorf, Torsten; Michaelis, Dirk; Zeitner, Uwe Detlef
Patent
2015Half-wave phase retarder working in transmission around 630nm realized by atomic layer deposition of sub-wavelength gratings
Paul, Thomas; Matthes, Andre; Harzendorf, Torsten; Ratzsch, Stephan; Zeitner, Uwe D.
Zeitschriftenaufsatz
2014Efficient fabrication of complex nano-optical structures by E-beam lithography based on charakter projection
Zeitner, Uwe Detlef; Harzendorf, Torsten; Fuchs, Frank; Banasch, Michael; Schmidt, Holger; Kley, Ernst-Bernhard
Konferenzbeitrag
2014Fast character projection electron beam lithography for diffractive optical elements
Harzendorf, Torsten; Fuchs, Frank; Banasch, Michael; Zeitner, Uwe Detlef
Konferenzbeitrag
2014Pulse compression grating fabrication by diffractive proximity photolithography
Stürzebecher, Lorenz; Fuchs, Frank; Harzendorf, Torsten; Zeitner, Uwe Detlef
Zeitschriftenaufsatz
2013Ultra-high aspect ratio replaceable AFM tips using deformation-suppressed focused ion beam milling
Savenko, Alexey Yu; Yildiz, Izzet; Petersen, Dirch Hjorth; Bøggild, Peter; Bartenwerfer, Malte; Krohs, Florian; Oliva, Maria; Harzendorf, Torsten
Zeitschriftenaufsatz
2012High performance diffraction gratings made by e-beam lithography
Zeitner, Uwe D.; Oliva, Maria; Fuchs, Frank; Michaelis, Dirk; Benkenstein, Tino; Harzendorf, Torsten; Kley, Ernst-Bernhard
Zeitschriftenaufsatz
2012Novel gap alignment sensor for high-resolution proximity lithography
Harzendorf, Torsten; Stürzebecher, Lorenz; Zeitner, Uwe Detlef
Konferenzbeitrag
2012Sub-micrometer pattern generation by diffractive mask-aligner lithography
Zeitner, Uwe D.; Stuerzebecher, Lorenz; Harzendorf, Torsten; Fuchs, Frank; Michaelis, Dirk
Konferenzbeitrag
2012Verfahren und Sensoreinheit zur Abstandsmessung in einer lithografischen Vorrichtung und lithographische Vorrichtung
Harzendorf, Torsten; Stürzebecher, Lorenz; Zeitner, U.; Vogler, U.; Völkel, R.
Patent
2012Verfahren und Vorrichtung zur Abstandsmessung mit einer diffraktiven Struktur
Harzendorf, Torsten; Stürzebecher, Lorenz; Zeitner, U.; Vogler, U.; Völkel, R.
Patent
2012Waveguide grating radial polarizer for the photolithography of circularly symmetrical optical elements
Jourlin, Yves; Tonchev, Svetlen; Parriaux, Olivier; Sauvage-Vincent, Jean; Harzendorf, Torsten; Zeitner, Uwe D.
Zeitschriftenaufsatz