Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Freeform and Laser Optical Coatings by Inline Magnetron Sputtering
Glöß, Daniel; Hartung, Ullrich; Drescher, Andy; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen
Konferenzbeitrag
2018Coating technology for locally varying optical function on 2d and 3d elements
Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2017Large area precision coatings by pulse magnetron sputtering
Frach, Peter; Glöß, Daniel; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Bartzsch, Hagen; Heisig, Andreas; Grune, Harald; Leischnig, L.; Leischnig, S.; Bundesmann, C.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren zum Ausbilden einer Schicht mit hoher Lichttransmission und/oder niedriger Lichtreflexion
Junghähnel, Manuela; Preußner, Thomas; Hartung, Ullrich
Patent
2016Coatings with a High Surface Roughness Prepared by a Co-sputtering Method Using Dual Rotatable Magnetrons
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten
Konferenzbeitrag
2016Preparation of a gradient SiO2 antireflective coating by a co-sputtering method using a dual rotatable magnetron system
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Fahlteich, John
Konferenzbeitrag
2015A hybrid electron cyclotron resonance metal ion source with integrated sputter magnetron for the production of an intense Al+ ion beam
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, Günther; Kreller, M.; Phillipp, A.
Zeitschriftenaufsatz
2014IMALION - creation and low energy transportation of a milliampere metal ion beam
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, G.; Silze, A.; Kreller, M.
Konferenzbeitrag
2014An inverted cylindrical sputter magnetron as metal vapor supply for electron cyclotron resonance ion sources
Weichsel, Tim; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten; Zschornack, G.; Kreller, M.; Silze, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Annealing effects on titania doped zinc oxide (ZNO:TI) and gallium doped zinc oxide (ZnO:GA) thin films prepared by DC-magnetron sputtering
Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2011On the way to a comprehensive APC library
Hartung, U.; Unkelbach, T.; Gebauer, L.; Dementjev, A.; Dittrich, S.
Konferenzbeitrag
2010High temperature resistant coatings of transparent and conductive Nb doped Titania (TiO2:Nb) for solar cell applications
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2010ITO thin films prepared by synchronal pulsed RF-DC sputtering
Heimke, B.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M.
Konferenzbeitrag
2010Properties of transparent conductive niobium doped titania (TNO) thin film deposited by large area DC and pulsed DC sputtering
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Zywitzki, O.
Konferenzbeitrag
2010Synchronal pulsed RF superimposed DC sputtering of aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al)
Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M.; Nyderle, R.
Konferenzbeitrag
2008RF superimposed DC sputtering of zinc tin oxide (ZTO) and indium zinc oxide (IZO)
Heimke, B.; Kopte, T.; Hartung, U.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Krause, U.; Braun, J.
Konferenzbeitrag
2008Solarkollektor
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Kopte, T.; Klostermann, H.; Fietzke, F.
Patent
2007Verfahren und Vorrichtung zum Loeschen von Bogenentladungen
Krause, U.; Hartung, U.; Kopte, T.
Patent
2005Connected fit algorithm for optical investigations of large area coatings
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Zeitschriftenaufsatz
2005Pulsed plasmas for reactive deposition of ITO layers
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen von Gasen bei Vakuumbeschichtungsprozessen
Krause, U.; Hartung, U.; Kopte, T.; Krause, I.
Patent
2005Verfahren zum Einstellen von Schichteigenschaften
Nyderle, R.; Gnehr, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.
Patent
2005Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2005Vorrichtung und Verfahren zum reaktiven Beschichten von Objekten
Krause, U.; Hartung, U.; Peters, C.; Krause, I.; Kopte, T.
Patent
2004The sputtering of ITO-layers by pulsed plasmas
Gnehr, W.-M.; Hartung, U.; Kopte, T.
Konferenzbeitrag
2004Synthesis of high-density MgO films by a novel magnetron sputtering system
Nam, K.H.; Jung, M.J.; Han, J.G.; Kopte, T.; Hartung, U.; Peters, C.
Zeitschriftenaufsatz
2004Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zuendspannung von Plasmen
Hartung, U.; Krause, U.; Kopte, T.; List, M.
Patent
2003Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2002The resistance lowering effect of an additional ZnO-layer in a low-E-system on glass
Treichel, O. Leybold Optics GmbH; Krause, U.; Peters, C.; Hartung, U.; Tautenhahn, I.; Gnehr, W.-M.; List, M. Committee Ardenne Anlagentechnik, Plattleite
Konferenzbeitrag
2002Waermedaemmendes Schichtsystem fuer transparente Substrate
Schneider, S.; Hartung, U.; Kirchhoff, V.; Soeder, B.; Meier, A.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme
Kirchhoff, V.; Schneider, S.; Hartung, U.; Soeder, B.; Meier, A.
Patent
1999Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme auf transparenten Substraten
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Soeder, B.; Groeninger, E.
Patent
1998Schichtsystem fuer gebogene und/oder gehaertete Glasscheiben
Hartung, U.; Schneider, S.; Kirchhoff, V.; Soeder, B.
Patent
1997Die Herstellung von Antireflexionsschichten unter Nutzung des Puls-Magnetron-Sputterns
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Aufsatz in Buch
1996Antireflective layers produced by pulsed magnetron sputter technology
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Konferenzbeitrag