Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Silicon films for heterojunction solar cells by hot-wire CVD
Justianto, M.; Harig, T.; Höfer, M.; Sittinger, V.
Konferenzbeitrag
2018Deposition of surface passivation layers for silicon heterojunction solar cells by hot-wire CVD
Justianto, M.; Höfer, M.; Harig, T.; Sittinger, V.
Konferenzbeitrag
2018Optical grade SiO₂ films prepared by HWCVD
Sittinger, V.; Höfer, M.; Harig, T.; Justianto, M.; Thiem, H.; Vergöhl, M.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz
2016Entwicklung eines korrosionsbeständigen Diamant-Siliciumcarbid-Werkstoffsystems für die Energietechnik - EKODISC
Blug, B.; Hörner, M.; Walter, M.; Hollstein, T.; Matthey, B.; Herrmann, M.; Kunze, S.; Striegler, M.; Fries, M.; Armgardt, M.; Harig, T.; Höfer, M.; Schäfer, L.
Bericht
2015Modeling of gas flow and deposition profile in HWCVD processes
Pflug, A.; Höfer, M.; Harig, T.; Armgardt, M.; Britze, C.; Siemers, M.; Melzig, T.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Strategy for silicon based hot-wire chemical vapor deposition without wire silicide formation
Laukart, A.; Harig, T.; Höfer, M.; Schäfer, L.
Zeitschriftenaufsatz
2013In-line deposition of silicon-based films by hot-wire chemical vapor deposition
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.; Borchert, D.; Keipert-Colberg, S.; Trube, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012In-line hot-wire chemical vapor deposition of silicon-based coatings
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.
Konferenzbeitrag
2011In-line processing of hot wire CVD a-SI:H solar cells using different ZnO:Al morphologies as front contact
Sittinger, V.; Laukart, A.; Harig, T.; Höfer, M.; Dewald, W.; Britze, C.; Schäfer, L.; Szyszka, B.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009Beschichtungsanlage mit Aktivierungselement sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.
Patent
2009Beschichtungsanlage und -verfahren
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.; Armgardt, M.
Patent
2009Beschichtungsanlage und -verfahren
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.; Armgardt, M.
Patent
2009Beschichtungsanlage und Beschichtungsverfahren
Schäfer, L.; Harig, T.; Höfer, M.; Laukart, A.; Armgardt, M.
Patent
2007Thin film deposition with hot-filament activated CVD
Schäfer, L.; Armgardt, M.; Gäbler, J.; Harig, T.; Höfer, M.; Pleger, S.
Konferenzbeitrag