Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Nanoindentation for reliability assessment of ULK films and interconnects structures
Yeap, K.B.; Iacopi, F.; Geisler, H.; Hangen, U.; Zschech, E.
Zeitschriftenaufsatz
2012Elastic anisotropy of Cu and its impact on stress management for 3D IC
Yeap, K.B.; Zschech, E.; Hangen, U.D.; Wyrobek, T.; Kong, L.W.; Karmakar, A.; Xu, X.P.; Panchenko, I.
Zeitschriftenaufsatz
2012Nanometer deformation of elastically anisotropic materials studied by nanoindentation
Yeap, K.B.; Kopycinska-Müller, M.; Hangen, U.D.; Zambaldi, C.; Hübner, R.; Niese, S.; Zschech, E.
Zeitschriftenaufsatz
2011Nanoindentation for quality control of ULK films
Yeap, K.B.; Zeng, K.; Hangen, U.; Zschech, E.
Konferenzbeitrag
2011Nanoindentation study of elastic anisotropy of Cu single crystals and grains in TSVs
Yeap, K.B.; Hangen, U.D.; Raabe, D.; Zschech, E.
Konferenzbeitrag
2011Nanomechanical characterization and metrology for low-k and ULK materials
Hangen, U.D.; Yeap, K.-B.; Vodnick, D.; Zschech, E.; Li, H.; Vlassak, J.
Konferenzbeitrag
2010Cohesive toughness of low-k film with periodically changing elastic modulus: Cube-corner indentation
Yeap, K.B.; Hangen, U.; Ritz, Y.; Kim, T.-S.; Dauskardt, R.; Zschech, E.
Konferenzbeitrag