Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Kapillarrohren
Grimme, Ralf; Zorn, Christof
Patent
2014Verfahren: CO2-Reinigung und CSM-Partikelemission Übertragung - Reinraumlabor Fraunhofer IPA
Bürger, Frank; Grimme, Ralf; Wiesner, Lisa; Kreck, Guido
Vortrag
2011Im Sinne der Gesundheit
Keller, Markus; Grimme, Ralf; Ernst, Christian
Zeitschriftenaufsatz
2011Reinigung und Reinheitskontrolle von Medizinprodukten
Keller, Markus; Ernst, Christian; Grimme, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2009Partikeldetektor und Verfahren zur Detektion von Partikeln
Grimme, Ralf
Patent
2009Partikelmesskopf, Partikelmessvorrichtung und Partikelmessverfahren zur Messung der Partikelfracht von Fluiden
Grimme, Ralf; Gommel, Udo; Gröning, Martin; Boos, Stefan
Patent
2008Bohrlochreinigung mit CO2: Sauberkeit bis auf den Grund
Zorn, C.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
2008Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo
Zeitschriftenaufsatz
2008Neue Aufgaben für die Reinigung
Rochowicz, Markus; Grimme, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2007CO2-Reinigungslanze mit Schwenkduese
Zorn, Christof; Grimme, Ralf
Patent
2007Neue CO2-Werkzeuge und Verfahren zur Innenreinigung von Bauteilen und Bohrlöchern
Grimme, Ralf; Zorn, Christof
Konferenzbeitrag
2007Verfahren und Werkzeug zur Reinigung von Kavitaeten
Zorn, Christof; Grimme, Ralf
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Ueberwachung der Partikelfracht eines Fluids
Grimme, Ralf; Rochowicz, Markus
Patent
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
2006Sensorsystem für Reinigungsbäder
Rochowicz, M.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
2006Verfahren zur Charakterisierung von Rückständen auf technischen Oberflächen - Übersicht und Beispiele
Rochowicz, M.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
2005Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface
Schmauz, G.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
2005Lokale Reinigung von Funktionsflächen
Grimme, R.; Hauptmann, J.; Krieg, M.C.
Zeitschriftenaufsatz
2005Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
2005Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U.
Konferenzbeitrag
2005Molecular Weiss domain polarization in piezoceramics to diaphragm, cantilever and channel construction in low-temperature-cofired ceramics for micro-fluidic applications
Khanna, P.K.; Ahmad, S.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Online-Qualitätsüberwachung mit Streiflicht
Schmauz, G.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Schmutz analysieren - Schäden vermeiden
Grimme, R.; Ernst, C.; Vohrer, U.; Leupolt, B.
Zeitschriftenaufsatz
2004KombiSens: Ein Sensorsystem zur Detektion von partikulären und filmischen Kontaminationen auf technischen Oberflächen
: Wegener, K.; Grimme, R.; Schmauz, G.; Meng, C.R.; Wiedenhöfer, M.; Dorndorf, M.; Phan, M.; Gorski, W.; Haist, T.; Tiziani, H.
Bericht
2004Miniature pressure sensor and micromachined actuator structure based on low-temperature-cofired ceramics and piezoelectric material
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Grimme, R.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2003Methoden zur lokalen Funktionalisierung von Oberflächen
Werner, D.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
2003Verfahren und Vorrichtung zur quantitativen und qualitativen on-line-Differenzierung von biotischen und abiotischen Partikeln
Koelblin, R.; Grimme, R.
Patent
2002Abschied von Traditionen. Strahlverfahren zur Feinreinigung in der Mikrotechnik
Werner, D.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
2002Magazin fuer die Fixierung von Kleinteilen
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schaefer, W.; Kaemper, K.P.; Berg, U.; Schmutz, W.; Ernst, G.; Renner, K.; Rothmaier, U.; Rudischhauser, J.
Patent
2002Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche einer optischen Komponente
Stock, A.; Grimme, R.; Dettmann, H.
Patent
2002Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche eines Gegenstands
Grimme, R.; Klumpp, B.
Patent
2001Absaugvorrichtung und -verfahren zur Lasermaterialbearbeitung und Laserreinigung
Grimme, R.; Lawrenz, W.; Willmann, J.; Schwaab, G.
Patent
2001Handhabungselement fuer Kleinteile und Verfahren zur Herstellung
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Schlenker, D.; Stock, A.
Patent
2001Verfahren und Vorrichtung zur Detektion biotischer Kontaminationen auf Oberflaechen
Schuele, A.; Grimme, R.; Huen, J.; Abt, C.; Gueth, A.
Patent
2000Partikel werden sichtbar: Kleine Kontaminationen vor der Beschichtung erkennen
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Zeitschriftenaufsatz
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
2000Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
1999Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Irion, K.-M.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.; Rothmaier, U.
Zeitschriftenaufsatz
1999Bioaerosole - Monitoring mit einem neuartigen Partikelzähler
Schüle, A.; Kölblin, R.; Grimme, R.; Trick, I.
Zeitschriftenaufsatz
1999Echtzeit-Differenzierung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Schüle, A.; Grimme, R.; Trick, I.
Zeitschriftenaufsatz
1999Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen
Matuscheck, P.; Stock, A.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1999Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
1999Verfahren und Vorrichtung zur Montage und Justierung von Bauteilen auf einer Befestigungsunterlage
Schwaab, G.; Grimme, R.; Lawrenz, W.
Patent
1999Vorrichtung sowie Verfahren zur Kennzeichnung von technischen und/oder elektronischen Bauteilen
Lawrenz, W.; Schwaab, G.; Grimme, R.
Patent
1998Detection of Biological Contamination
Grimme, R.; Kölblin, R.; Schüle, A.; Trick, I.
Konferenzbeitrag
1998Gefahr aus der Luft: On-line-Differenzierung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R.; Trick, I.; Grimme, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998Lokale Reinigungsverfahren
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Werner, D.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
1998A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
1998Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1997Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Irion, K.-M.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1997Cluster - Fertigungskonzept
Schäfer, W.; Grimme, R.
Aufsatz in Buch
1997Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1997Industrielle Produktion von optischen Systemen
Grimme, R.; Schlenker, D.
Konferenzbeitrag
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1997Selektives Reinigen von Mikrostrukturen
Ambrosy, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Grundlagen zur Justage von Einzellinsen
Schäfer, W.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Rochowitz, M.
Konferenzbeitrag
1996Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen
Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile
Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T.
Konferenzbeitrag
1996Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Konferenzbeitrag
1996Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls
Otschik, P.; Kluge, A.; Grimme, R.; Schönecker, A.; Schumacher, A.; Gesemann, H.J.
Konferenzbeitrag
1996Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Konferenzbeitrag
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Konferenzbeitrag
1995Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
1995Industrielle Produktion von Mini- und hochintegrierten Endoskopen
Grimme, R.; Ernst, G.; Schäfer, W.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1995Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1994Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1992Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B.
Zeitschriftenaufsatz