Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2018Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Grasshoff, Thomas; Auböck, Gerald; Kenda, Andreas; Gisler, Thomas; Langa, Sergiu; Herrmann, Andreas; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2016Scanning optical MEMS with very high frequencies
Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Todt, Ulrich; Flemming, André; Sandner, Thilo; Grahmann, Jan
Vortrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Bericht Telerehabilitation 2015
John, Michael; Einhaus, Johannes; Klose, Stefan; Kock, Gerhard; Graßhoff, Tamara
Bericht
2015Hybrid assembled micro scanner array with large aperture and their system integration for a 3D ToF laser camera
Sandner, T.; Baulig, C.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.; Dahlmann, H.-G.; Schwarzer, S.
Konferenzbeitrag
2014Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery
Sandner, Thilo; Kimme, Simon; Grasshoff, Thomas; Todt, Ulrich; Graf, Alexander; Tulea, Christian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2014Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014Quasistatisch-resonanter Mikroscanner zur adaptiven Auflösungssteuerung einer 3D ToF-Kamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schrödter, R.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Quasistatisch-resonanter Mikroscanner zur adaptiven Auflösungssteuerung einer 3D ToF-Kamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schrödter, R.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Gaumont, E.; Schenk, H.; Kenda, A.
Zeitschriftenaufsatz
2013Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery
Sandner, T.; Kimme, S.; Grasshoff, T.; Todt, U.; Graf, A.; Tulea, C.; Lenenbach, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2013Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D-laser camera
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2013Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D-lasercamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2012The development path of electrostatic resonant to electrostatic quasistatic driven micro scanning mirrors
Grahman, Jan; Jung, Denis; Kallweit, David; Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2012Laser projector solution based on two 1D resonant scanning micromirrors assembled in a low vertical distortion scan head
Grahmann, J.; Wildenhain, M.; Graßhoff, T.; Gerwig, C.; Dallmann, H.-G.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2012Translatory MEMS actuator and their system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2011Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Microscanner with Vertical out of Plane Combdrive
Sandner, Thilo; Jung, Denis; Kallweit, David; Grasshoff, T.; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011Out-of-plane translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2010Lamellar grating based mems fourier transform spectrometer
Seren, H.R.; Ayerden, N.P.; Sharma, J.; Holmström, S.T.S.; Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.; Urey, H.
Konferenzbeitrag
2010Synchronized microscanner array for large aperture receiver optics of LIDAR systems
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2010Translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009MEMS based laser imager with diagonal progressive scanning
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Klose, T.; Schenk, H.; Massieu, J.L.
Konferenzbeitrag
2009Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von traegen Massen
Grasshoff, T.; Sandner, T.; Conrad, H.; Jung, D.
Patent
20083D hybrid capacitance model for angular vertical comb drives
Jung, D.; Klose, T.; Grasshoff, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2008Mikromechanisches Element und Sensor zur Ueberwachung eines mikromechanischen Elements
Klose, T.; Conrad, H.; Grasshoff, T.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieaenderung und Verfahren zum Betreiben desselben
Grasshoff, T.; Klose, T.; Sandner, T.
Patent
2007Mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches System, Vorrichtung zum Einstellen einer Empfindlichkeit eines mikromechanischen Bauelements, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
Klose, T.; Grasshoff, T.
Patent
2005Untersuchungen zum aktiven Frequenztuning resonanter Microscannerspiegel
Graßhoff, T.
Diplomarbeit