Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Freeform and Laser Optical Coatings by Inline Magnetron Sputtering
Glöß, Daniel; Hartung, Ullrich; Drescher, Andy; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen
Konferenzbeitrag
2018Coating technology for locally varying optical function on 2d and 3d elements
Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2018Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
Bartzsch, Hagen; Barth, Stephan; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2017Eigenschaften von Samariumsulfidschichten für Sensoranwendungen
Delan, A.; Ngoumeni, R; Vondkar, K; Glöß, D.; Gerlach, G.
Konferenzbeitrag
2017Energy harvesting based on piezoelectric AlN and AlScN thin films deposited by high rate sputtering
Frach, Peter; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2017Large area precision coatings by pulse magnetron sputtering
Frach, Peter; Glöß, Daniel; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Bartzsch, Hagen; Heisig, Andreas; Grune, Harald; Leischnig, L.; Leischnig, S.; Bundesmann, C.
Konferenzbeitrag
2016Adjustment of plasma properties in magnetron sputtering by pulsed powering in unipolar/bipolar hybrid pulse mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Mathias; Labitzke, Rainer
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Energy Harvesting auf der Basis piezoelektrischer AlN- und AlScN -Dünnschichten
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2016Heat transfer model of dropwise condensation and experimental validation for surface with coating and groove at low pressure
Lu, Chie-Hung; Beckmann, Michael; Unz, Simon; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Holst, E.; Lasagni, Andrés-Fabián; Bieda, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2016Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz
2016Precision optical coatings on large substrates by reactive magnetron sputtering
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Goschurny, T.; Drescher, A.; Gottfried, C.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2015Adjustment of Plasma Properties in Magnetron sputtering by Pulsed Powering in Mixed Unipolar and Bipolar Mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Matthias; Labitzke, Rainer
Konferenzbeitrag
2015Electrospray ionization deposition of BSA under vacuum conditions
Hecker, Dominic; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2015Influence of process parameters on properties of piezoelectric AlN and AlScN thin films for sensor and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2015Photocatalytic properties of TiO2 thin films modified with Ag and Pt nanoparticles deposited by gas flow sputtering
Maicu, Marina; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Hecker, Dominic; Gerlach, Gerald; Cordoba, Jose M.
Zeitschriftenaufsatz
2015Verfahren zum Abscheiden einer piezoelektrischen AlN-haltigen Schicht sowie eine AlN-haltige piezoelektrische Schicht
Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Barth, Stephan
Patent
2014Combination of pulse magnetron sputtering and atomic layer deposition for very low water vapor and oxygen transmission rates using cheap standard plastic substrates
Krug, Mario; Barth, Stephan; Endler, Ingolf; Glöß, Daniel; Fahlteich, John; Boeffel, Christine; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Effect of process parameters on structure and piezoelectric properties of AlN and AlXSc1-XN films deposited by pulsed magnetron sputtering
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Zywitzki, Olaf; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2014Low pressure plasma treatment for curing hybrid layer systems
Glöß, Daniel; Rose, Klaus; Drescher, Andy; Kron, Johanna; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Niederdruck-Plasmabehandlung zur Aushärtung von hybridpolymeren Schichtsystemen
Glöß, Daniel; Rose, Klaus; Drescher, Andy; Kron, Johanna; Frach, Peter
Aufsatz in Buch
2014Sputter deposition of piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Juuti, J.; Gerlach, Gerald; Suchaneck, Günther; Heuer, Henning; Walter, Susan; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Palosaari, J.
Konferenzbeitrag
2014Sputter deposition of stress-controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Walter, Susann; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Heuer, Henning
Zeitschriftenaufsatz
2014Synthesis and deposition of metal nanoparticles by gas condensation process
Maicu, Marina; Schmittgens, Ralf; Hecker, Dominic; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz
2014Synthesis and deposition of metal nanoparticles by gas phase condensation process
Glöß, Daniel; Maicu, Marina; Schmittgens, Ralph; Hecker, Dominic; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Synthesis and Deposition of Metal Nanoparticles by Gas Phase Condensation Process
Glöß, Daniel; Maicu, Marina; Frach, Peter; Schmittgens, Ralph; Hecker, Dominik; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2013High power density pulse magnetron sputtering - process and film properties
Frach, Peter; Gottfried, Christian; Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2013Plasma deposition of hydrophobic coatings on structured surfaces for condensation and heat transfer
Glöß, Daniel; Frach, Peter; Maicu, Marina; Holst, Emmy; Schmittgens, Ralf; Gerlach, Gerald; Lu, Chen; Roch, T.; Bieda, M.; Lasagni, A.; Beckmann, M.
Konferenzbeitrag
2013Reactive magnetron sputter technologies for precision optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Gloess, D.; Taeschner, K.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2013Sputter deposition of stress controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2012Low demage magnetron sputtering of TCO films
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Gittner, M.; Gottfried, C.; Suzuki, K.
Konferenzbeitrag
2012Metal-oxide-based nanocomposites comprising advanced gas sensing properties
Ponomareva, A.A.; Moshnikov, V.A.; Glöß, D.; Delan, A.; Kleiner, A.; Suchaneck, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012A novel nanoparticle source for vacuum deposition
Schmittgens, R.; Holst, E.; Gerlach, G.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Maicu, M.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2012Präzisionsbeschichtung für Optik, Sensorik und Elektronik
Frach, Peter; Potinecke, Thomas; Slama, Alexander; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Mehlstäubl, Marita
Aufsatz in Buch
2012Pulse Magnetron Sputtering with high power density-an attempt at a critical evaluation
Frach, P.; Gottfried, C.; Fietzke, F.; Klostermann, H.; Bartzsch, H.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2012Pulse Magnetron Sputtering with High Power Density-Process and Film Properties
Frach, P.; Gottfried, C.; Fietzke, F.; Klostermann, H.; Bartzsch, H.; Gloess, D.
Konferenzbeitrag
2012Reactive pulse magnetron sputtering for deposition of piezoelectric AlN layers
Glöß, D.; Bartzsch, H.; Gittner, M.; Frach, P.; Herzog, T.; Walter, S.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2012Smart ultrasonic sensors systems: Potential of aluminum nitride thin films for the excitation of the ultrasound at high frequencies
Walter, Susan; Herzog, Thomas; Heuer, Henning; Bartzsch, Hagen; Gloess, Daniel
Zeitschriftenaufsatz
2011Anti-infective coatings based on dispersed TiO2 nanoparticles in polymer matrices
Rothe, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Rose, K.; Kron, J.; Liefeith, K.
Zeitschriftenaufsatz
2011High rate reactive sputter deposition of TiO2 films for photocatalyst and dye-sensitized solar cells
Sato, Y.; Hashimoto, T.; Miyamura, A.; Ohno, S.; Oka, N.; Suzuki, K.; Glöß, D.; Frach, P.; Shigesato, Y.
Zeitschriftenaufsatz
2011Photocatalytic TiO2 films deposited by different methods
Vergöhl, M.; Althues, H.; Frach, P.; Glöß, D.; Graumann, T.; Hübner, C.; Neumann, F.; Neubert, T.; Schottner, G.; Song, D.-K.
Zeitschriftenaufsatz
2011Piezoelectric behaviour of sputtered aluminium nitride thin film for high frequency ultrasonic sensors
Herzog, T.; Walter, S.; Bartzsch, H.; Gittner, M.; Gloess, D.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2011Process control in sputtering of optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Täschner, K.
Konferenzbeitrag
2011Properties of piezoelectric AlN layers deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Gittner, M.; Glöß, D.; Frach, P.; Herzog, T.; Walter, S.; Heuer, H.
Konferenzbeitrag
2011Smart ultrasonic sensors systems: Investigations on aluminum nitride thin films for the excitation of high frequency ultrasound
Walter, S.; Herzog, T.; Heuer, H.; Bartzsch, H.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2010Advanced key technologies for magnetron sputtering and PECVD of inorganic and hybrid transparent coatings
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.; Schultheiss, E.
Zeitschriftenaufsatz
2010Measurement of the photocatalytic activity of TiO2 films deposited by different methods
Vergöhl, M.; Althues, H.; Frach, P.; Glöß, D.; Graumann, T.; Hübner, C.; Neumann, F.; Neubert, T.; Schottner, G.; Song, D.K.
Konferenzbeitrag
2009Electrical insulation properties of sputter-deposited SiO2, Si3N4 and Al2O3 films at room temperature and 400 degrees C
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Gittner, M.; Schultheiß, E.; Brode, W.; Hartung, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Highly insulating Al2O3, SiO2, and Si3N4 films for sensor applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Gittner, M.; Schultheiß, E.; Brode, W.; Hartung, J.
Konferenzbeitrag
2008Effect of structure and morphology on photocatalytic properties of TiO2 layers
Zywitzki, O.; Modes, T.; Frach, P.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Electrically insulating Al2O3 and SiO2 films for sensor and photovoltaic applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering, hollow cathode arc activated deposition and magnetron-PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Fahland, M.; Händel, F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Multifunctional high-reflective and antireflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Sputter process with time-variant reactive gas mixture for the deposition of optical multilayer and gradient layer systems
Bartzsch, H.; Weber, J.; Lau, K.; Glöß, D.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat
Bartzsch, H.; Frach, P.; Taeschner, K.; Gloess, D.; Gottfried, C.; Fahland, M.
Patent
2007Einfluss von Beschichtungsparametern auf den Teilchen- und Energiestrom zum Substrat und Auswirkungen auf ausgewählte Eigenschaften von Titanoxidschichten beim reaktiven Puls-Magnetron-Sputtern
Glöß, D.
Dissertation
2007Physikalisch-chemische und mikrobiologische Wirkung gesputterter photokatalytischer Titanoxid-Schichten
Frach, P.; Glöß, D.; Vergöhl, M.; Hund-Rinke, K.; Trick, I.
Zeitschriftenaufsatz
2006Decomposition ability and bioactivity of photocatalytic TiO2 based layers prepared by reactive pulse magnetron sputtering
Frach, P.; Glöß, D.; Zywitzki, O.; Vergöhl, M.; Neumann, F.; Hund-Rinke, K.; Trick, I.
Konferenzbeitrag
2006Deposition of photocatalytic TiO2 layers by pulse magnetron sputtering and by plasma-activated evaporation
Frach, P.; Glöß, D.; Metzner, C.; Modes, T.; Scheffel, B.; Zywitzki, O.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Elektrode fuer elektrochemische Farbstoffzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
Frach, P.; Gloess, D.; Klinkenberg, S.; Kopte, T.; Fahland, M.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Patent
2006Multi-functional high-reflective and anti-reflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag
2006Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V.
Konferenzbeitrag
2006Oberflaechenveredeltes Objekt, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung des Objektes
Fietzke, F.; Goedicke, K.; Gloess, D.; Frach, P.
Patent
2006Verfahren zum Vakuumbeschichten mit einer photohalbleitenden Schicht und Anwendung des Verfahrens
Frach, P.; Gloess, D.; Goedicke, K.; Klinkenberg, S.; Gottfried, C.; Kirchhoff, V.
Patent
2005Easy-to-clean coatings produced by high-rate pulse magnetron sputtering and plasma-activated evaporation
Glöß, D.; Frach, P.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Konferenzbeitrag
2005Photocatalytic titanium dioxide thin films prepared by reactive pulse magnetron sputtering at low temperature
Glöß, D.; Frach, P.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Klinkenberg, S.; Gottfried, C.
Zeitschriftenaufsatz
2005Photokatalytische Eigenschaften von gesputterten dotierten TiO2 Schichten
Vergöhl, M.; Neumann, F.; Frach, P.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2004Getting smarter
Neumann, F.; Vergöhl, M.; Frach, P.; Glöß, D.
Zeitschriftenaufsatz
2004Photocatalytic properties of doped TiO2 and of Ti-based mixed oxide thin films prepared by reactive pulse magnetron sputtering
Vergöhl, M.; Frach, P.; Neumann, F.; Hunsche, B.; Glöß, D.
Konferenzbeitrag
2003Effect of pulse mode in reactive magnetron sputtering on structure and properties of titanium dioxide films
Frach, P.; Glöß, D.; Goedicke, K.; Zywitzki, O.; Sahm, H.; Modes, T.
Konferenzbeitrag
2003Effect of pulse mode in reactive magnetron sputtering on structure and properties of titanium dioxide films
Frach, P.; Zywitzki, O.; Goedicke, K.; Boecher, B.; Glöß, D.; Gottfried, C.
Konferenzbeitrag
2003High rate deposition of insulating TiO2 and conducting ITO films for optical and display applications
Frach, P.; Glöß, D.; Goedicke, K.; Fahland, M.; Gnehr, W.-M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Properties of SiO2 and Al2O3 films for electrical insulation applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Bocher, B.; Frach, P.; Goedicke, K.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag