Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Time efficient test method for dimensional parameter determination based on resonant mode detection
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Giessmann, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.
Konferenzbeitrag