Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Controlling stoichiometry and ionization of reactive HIPIMS processes by using plasma emission monitoring
Rieke, J.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Schütte, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2018Novel process control technique for reactive high-density plasmas by combining different control methods
Schütte, T.; Neiß, P.; Rieke, J.; Gerdes, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2017Gas flow sputtering for manufacture of high quality hard magnetic films
Bandorf, R.; Gröninger, A.; Ortner, K.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2016Efficient process control and monitoring for HIPIMS applied to deposition of ITO films
Carreri, F.C. de; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Gas flow sputtering for manufacture of high-quality hard magnetic films
Bandorf, R.; Gröninger, A.; Ortner, K.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2016Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C.; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Planar langmuir probe investigations of metallic and reactive bipolar sputtered aluminum
Bandorf, R.; Gerdes, H.; Barati, V.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Different approaches for controlling a reactive HIPIMS sputter process
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Mark, M.; Schütte, T.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Highly insulating alumina films by a bipolar reactive MF sputtering process with special arc handling
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015HIPIMS ITO films from a rotating cylindrical cathode
Carreri, F.C. de; Sabelfeld, A.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2015Verfahren und Vorrichtung zur geregelten, gepulsten ionisierten Beschichtung von Substraten in einer Beschichtungskammer
Bandorf, Ralf; Gerdes, Holger; Schütte, Thomas
Patent
2014Different HIPIMS techniques for reactive desposition of alumina
Gerdes, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2014Investigation of a new AC power supply for deposition of highly insulating alumina films
Carreri, F.C.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2014Superposition of mid-frequency and high power impulse magnetron sputtering
Gerdes, H.; Sittinger, V.; Bandorf, R.; Lenck, O.; Vergöhl, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Hochempfindliche Dünnschicht-Dehnungsmessstreifen auf technischen Bauteilen
Bandorf, R.; Gerdes, H.; Heckmann, U.; Petersen, M.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Influence of deposition parameters in PACVD-SiO2 preparation on resulting film properties
Bandorf, R.; Stasewitsch, I.; Gerdes, H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Reactive HIPIMS sputter deposition of alumina from industrial size rotables
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2012Reactive sputter deposition of alumina coatings
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Loch, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2011Beschichtungstechnologien
Bandorf, R.; Gerdes, H.
Aufsatz in Buch
2011Deposition rate characteristics for steady state high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) discharges generated with a modulated pulsed power (MPP) generator
Papa, F.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Ehiasarian, A.P.; Kolev, I.; Bräuer, G.; Tietema, R.; Krug, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Mess- und Prüfverfahren
Sander, U.; Gerdes, H.; Bandorf, R.
Aufsatz in Buch
2011Oberflächen-Dünnschichtsensorik erschließt neue Anwendungen
Düsing, J.F.; Suttmann, O.; Bandorf, R.; Gerdes, H.
Zeitschriftenaufsatz
2010Genotoxicity of 1-propanol. Is there a problem?
Licht, O.; Gerdes, H.; Ziemann, C.; Bitsch, A.; Mangelsdorf, I.
Abstract
2009New materials for sputtered strain gauges
Heckmann, U.; Bandorf, R.; Gerdes, H.; Lübke, M.; Schnabel, S.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Optical emission spectroscopy of Ni, Cr, and NiCr for DC and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS)
Gerdes, H.; Wellhausen, J.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2009Sputter deposition of strain gauges using ITO/Ag
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Heckmann, U.; Schmidt, V.; Kricheldorf, H.-U.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Investigations on high power impulse magnetron sputtering by optical emission spectroscopy of NiCr in different compositions (40/60 and 80/20)
Gerdes, H.; Schmidt, M.; Wellhausen, J.; Bandorf, R.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2008Properties of Nichrome sputtered by HIPIMS in unipolar and DC-superimposed mode
Bandorf, R.; Falkenau, S.; Schiffmann, K.; Gerdes, H.; Heckmann, U.
Konferenzbeitrag