Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Synthesis of β-Ketoiminato Copper(II) Complexes and their Use in Copper Deposition
Preuß, A.; Korb, M.; Rüffer, T.; Bankwitz, J.; Georgi, C.; Jakob, A.; Schulz, S.E.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019A β-ketoiminato palladium(II) complex for palladium deposition
Preuß, A.; Korb, M.; Rüffer, T.; Bankwitz, J.; Georgi, C.; Jakob, A.; Schulz, S.E.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Synthesis of Mg and Zn diolates and their use in metal oxide deposition
Frenzel, P.; Preuß, A.; Bankwitz, J.; Georgi, C.; Ganss, F.; Mertens, L.; Schulz, S.E.; Hellwig, O.; Mehring, M.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2017Low-temperature chemical vapor deposition of cobalt oxide thin films from a dicobaltatetrahedrane precursor
Melzer, M.; Nichenametla, Charan K.; Georgi, Colin; Lang, Heinrich; Schulz, S.E.
Zeitschriftenaufsatz
2016Advances in Deposition of Main-Group Metal Oxides and Rare-Earth Oxides from Metal Enolates
Lang, H.; Adner, D.; Georgi, C.
Aufsatz in Buch
2016Advances in Deposition of Metals from Metal Enolates
Lang, H.; Adner, D.; Georgi, C.
Aufsatz in Buch
2016Advances in Deposition of Transition-Metal Oxides from Metal Enolates
Lang, H.; Adner, D.; Georgi, C.
Aufsatz in Buch
2016Atomic layer deposition of ultrathin Cu2O and subsequent reduction to Cu studied by in situ x-ray photoelectron spectroscopy
Dhakal, D.; Assim, K.; Lang, H.; Bruener, P.; Grehl, T.; Georgi, C.; Waechtler, T.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2016Bis(β-diketonato)-and allyl-(β-diketonato)-palladium(II) complexes: Synthesis, characterization and MOCVD application
Assim, K.; Melzer, M.; Korb, M.; Rüffer, T.; Jakob, A.; Noll, J.; Georgi, C.; Schulz, S.E.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Chemical vapor deposition of ruthenium-based layers by a single-source approach
Jeschke, J.; Möckel, S.; Korb, M.; Rüffer, T.; Assim, K.; Melzer, M.; Herwig, G.; Georgi, C.; Schulz, S.E.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Manganese half-sandwich complexes as metal-organic chemical vapor deposition precursors for manganese-based thin films
Assim, K.; Jeschke, J.; Jakob, A.; Dhakal, D.; Melzer, M.; Georgi, C.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2015Half-sandwich cobalt complexes in the metal-organic chemical vapor deposition process
Georgi, C.; Hapke, M.; Thiel, I.; Hildebrandt, A.; Waechtler, T.; Schulz, S.E.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014A cobalt layer deposition study: Dicobaltatetrahedranes as convenient MOCVD precursor systems
Georgi, C.; Hildebrandt, A.; Waechtler, T.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz
2012Ruthenocenes and half-open ruthenocenes: Synthesis, characterization, and their use as CVD precursors for ruthenium thin film deposition
Tuchscherer, A.; Georgi, C.; Roth, N.; Schaarschmidt, D.; Rüffer, T.; Waechtler, T.; Schulze, S.E.; Oswald, S.; Gessner, T.; Lang, H.
Zeitschriftenaufsatz