Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2013Heterogeneous 3D integration of hidden hinge micromirror arrays consisting of two layers of monocrystalline silicon
Lapisa, M.; Zimmer, F.; Stemme, G.; Gehner, A.; Niklaus, F.
Zeitschriftenaufsatz
2012Drift-free micromirror arrays made of monocrystalline silicon for adaptive optics applications
Lapisa, M.; Zimmer, F.; Stemme, G.; Gehner, A.; Niklaus, F.
Zeitschriftenaufsatz
2011Hidden-hinge micro-mirror arrays made by heterogeneous integration of two mono-crystalline silicon layers
Lapisa, M.A.; Zimmer, F.; Gehner, A.; Stemme, G.; Niklaus, F.
Konferenzbeitrag
2009CMOS-integrable piston-type micro-mirror array for adaptive optics made of mono-crystalline silicon using 3-D integration
Lapisa, M.; Zimmer, F.; Niklaus, F.; Gehner, A.; Stemme, G.
Konferenzbeitrag
2008Adaptive optical imaging correction using wavefront sensors and micro mirror arrays
Wildenhain, M.; Knobbe, J.; Gehner, A.; Beyerlein, M.; Pfund, J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Amorphous TiAl films for micromirror arrays with stable analog deflection integrated on complementary metal oxide semiconductors
Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Gehner, A.
Zeitschriftenaufsatz
2008Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Adaptiv-optische Abbildungskorrektur mit Wellenfrontsensoren und Mikrospiegelarrays
Wildenhain, M.; Knobbe, J.; Gehner, A.; Beyerlein, M.; Pfund, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007AO SLM demonstration system and test bed
Wildenhain, Michael; Knobbe, Jens; Gehner, Andreas; Wagner, Michael; Lakner, Hubert
Konferenzbeitrag
2007CMOS integrable micromirrors with highly improved drift-stability
Schmidt, Jan U.; Knobbe, Jens; Gehner, Andreas; Lakner, Hubert
Konferenzbeitrag
2007Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen
Wagner, M.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.-U.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Low-creep metallic thin films and reflective coatings for optical microsystems
Schmidt, J.U.; Knobbe, J.; Gehner, A.
Zeitschriftenaufsatz
2007MEMS Mikrospiegelarrays für die Adaptive Optik
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Knobbe, J.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2007Recent progress in CMOS integrated MEMS AO mirror development
Gehner, A.; Schmidt, J.U.; Wildenhain, M.; Knobbe, J.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2006Low-creep metallic thin films and reflective coatings for optical microsystems
Schmidt, J.U.; Gehner, A.; Knobbe, J.
Konferenzbeitrag
2006MEMS analog light processing - an enabling technology for adaptive optical phase control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Micro-actuator with extended analog deflection at low drive voltage
Dürr, P.; Gehner, A.; Schmidt, J.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005MEMS phase former kit for high-resolution wavefront control
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Neumann, H.; Elgner, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2005Micro-opto-electro-mechanical systems technology and its impact on photonic applications
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2004Light processing with electrostatically driven micro scanning mirrors and micro mirror arrays
Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wolter, A.; Lakner, H.
Aufsatz in Buch
2004Photonic microsystems: An enabling technology for light deflection and modulation
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Grüger, H.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Tests on micro-mirror arrays for adaptive optics
Liesener, J.; Hupfer, W.; Gehner, A.; Wallace, K.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye aberration correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Micro-mirror Arrays for adaptive wavefront correction
Hupfer, W.; Gehner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.; Liesener, J.; Wallace, K.
Konferenzbeitrag
2003Micromirror SLM for femtosecond pulse shaping in the ultraviolet
Hacker, M.; Stobrawa, G.; Sauerbrey, R.; Buckup, T.; Motzkus, M.; Wildenhain, M.; Gehner, A.
Zeitschriftenaufsatz
2002Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.
Aufsatz in Buch
2002Mustererzeugung und -erfassung mit mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays
Lakner, H.; Dürr, P.; Schenk, H.; Gehner, A.
Konferenzbeitrag
2001Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M.
Konferenzbeitrag
2001Micromirror arrays for wavefront correction
Gehner, A.; Wildenhain, M.
Aufsatz in Buch
2000Micromirror arrays for wavefront correction
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2000Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Aufsatz in Buch
1999Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Konferenzbeitrag
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1998Microtechnologies, microactuator device for lightmodulator applications
Gehner, A.; Doleschal, W.; Schwenger, L.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1997Entwicklung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren mit deformierbaren Spiegelanordnungen für die maskenlose Mikrolithographie
Gehner, A.
Dissertation
1997High-throughput optical direct write lithography
Paufler, J.; Kück, H.; Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1996Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1996Mikrospiegelanordnungen in CMOS-kompatibler Oberflächenmikromechanik
Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, A.; Paufler, J.; Seltmann, R.
Aufsatz in Buch
1996New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1996Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Gehner, A.; Hess, G.; Kueck, H.; Vogt, H.
Patent
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H.
Patent
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H.
Patent
1995Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie
Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grinewitschus, V.; Grundke, W.; Hille, F.; Kück, H.; Mahdavi, P.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.
Aufsatz in Buch
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag