Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Silicon-based microfluid control and switching valves using lateral electrostatic bending actuators
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Ruffert, Christine; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Bericht
2019Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert
Patent
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018A novel electrostatic actuator, the Nano-E-Drive, and its integration in a micropump design
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Konferenzbeitrag
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Numerische Optimierung von Mikroaktoren
Schuffenhauer, David
: Gaudet, Matthieu (Betreuer); Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2017A user-friendly guide to the optimum ultraviolet photolithographic exposure and greyscale dose of SU-8 photoresist on common MEMS, microsystems, and microelectronics coatings and materials
Gaudet, Matthieu; Arscott, Steve
Zeitschriftenaufsatz
2016Fabrication and characterization of a novel electrostatic actuator
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert
Patent
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Zeitschriftenaufsatz