Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Ceramic substrate technology for wafer level packaging of MEMS
Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Gabler, Felix; Roscher, Frank
Konferenzbeitrag
2016HOT-300 - a multidisciplinary technology approach targeting microelectronic systems at 300 °C operating temperature
Vogt, Holger; Altmann, Frank; Braun, Sebastian; Celik, Yusuf; Dietrich, Lothar; Dietz, Dorothee; Dijk, Marius van; Dreiner, Stefan; Döring, Ralf; Gabler, Felix; Goehlich, Andreas; Hutter, Matthias; Ihle, Martin; Kappert, Holger; Kordas, Norbert; Kokozinski, Rainer; Naumann, Falk; Nowak, Torsten; Oppermann, Hermann; Partsch, Uwe; Petzold, Matthias; Roscher, Frank; Rzepka, Sven; Schubert, Ralph; Weber, Constanze; Wiemer, Maik; Wittler, Olaf; Ziesche, Steffen
Konferenzbeitrag
2016Materials and technologies to enable high temperature stable MEMS and electronics for smart systems used in harsh environments
Gabler, Felix; Roscher, Frank; Döring, Ralf; Otto, Alexander; Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Celik, Yusuf; Dietz, Dorothee; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Naumann, Falk; Geßner, Thomas
Konferenzbeitrag