Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1992Automatisierungskonzepte und -komponenten für Reinraumanwendungen
Frühauf, W.
Konferenzbeitrag
1992Reinraumeinrichtung
Fruehauf, W.
Patent
1991Ist deutsches Halbleiterfertigungsequipment noch konkurrenzfähig
Frühauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1991Materialdistribution und neue Konzepte für die Fertigung im Reinraumbereich
Frühauf, W.
Konferenzbeitrag
1990Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W.
Konferenzbeitrag
1990Flexibel Medien ver- und entsorgen
Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.
Zeitschriftenaufsatz
1990Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B.
Zeitschriftenaufsatz
1990New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1990Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1989Fertigungssystem fuer Halbleitersubstrate
Kunze Concewitz, H.; Schmutz, W.; Mann, R.; Olbrich, H.; Gentischer, J.; Fruehauf, W.; Dorner, J.; Breitschwerdt, G.
Patent
1989Flexibles fotolithographisches Prozeßzentrum
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Olbrich, W.; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1989Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon West 1989
Frühauf, W.; Lunzer, H.-R.
Zeitschriftenaufsatz
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Zeitschriftenaufsatz
1988Flexible photolithographic process center
Fruehauf, W.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Konferenzbeitrag
1988Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988
Fruehauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse
Mann, R.; Fruehauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987Automated material handling for defect reduction
Fruehauf, W.; Geissinger, J.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1987Automatisierungs-Gesichtspunkte fuer Halbleiterfertigungsgeraete
Fruehauf, W.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1987Flexible Photolithographic Process Center -FFP-
Fruehauf, W.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Zeitschriftenaufsatz
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie
1985Trend bei elektronischen Bauelementen
Fruehauf, W.
Zeitschriftenaufsatz

 

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