Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000Verfahren zum Erzeugen einer Titanmonophosphidschicht und ihre Verwendung
Froeschle, B.; Leutenecker, R.; Ramm, P.
Patent
1999Characterization of oxide etching and wafer cleaning using vapor phase anhydrous hydrofluoric acid and ozone
Bauer, A.J.; Froeschle, B.; Beichele, M.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1997Characterization of oxide etching and wafer cleaning using vapor-phase anhydrous HF and ozone
Froeschle, B.; Deutschmann, L.; Bauer, A.J.; Burte, E.P.
Konferenzbeitrag
1997Cleaning process optimization in a gate oxide cluster tool using an in-line XPS module
Froeschle, B.; Glowacki, F.; Bauer, A.J.; Kasko, I.; Öchsner, R.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1997Integrated process control for cluster tools using an in-line analytical module
Kasko, I.; Oechsner, R.; Froeschle, B.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1997Integrated vapor-phase cleaning and pure NO nitridation for gate stack formation
Glowacki, F.; Froeschle, B.; Deutschmann, L.; Sagnes, I.; Laviale, D.; Bensahel, D.; Galimaoui, A.; Martin, F.; Bauer, A.J.
Konferenzbeitrag
1997Titanium monophosphide (TiP) layers as potential diffusion barriers
Leutenecker, R.; Fröschle, B.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1997Titanium monophosphide (TiP) layers as potential diffusion barriers
Leutenecker, R.; Fröschle, B.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1994Insitu post deposition anneal of rapid thermal chemical vapor deposited titanium nitride
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1994Rapid thermal chemical vapor deposition of titanium nitride for barrier application
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag