Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Bulk micromachined and wafer bonded resonators for vacuum pressure measurement
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S.
Konferenzbeitrag
2001Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S.
Konferenzbeitrag