Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Influence of high-energy electron irradiation on ultra-low-k characteristics and transistor performance
Steidel, Katja; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Seidel, Robert; Thrun, Xaver; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2012Anforderungen an die Produktivität und Komponentisierung von Dienstleistungen
Becker, Michael; Böttcher, Martin; Freitag, Mike; Klingner, Stephan; Lamberth, Sabrina; Meiren, Thomas
: Böttcher, Martin (Hrsg.); Meiren, Thomas (Hrsg.)
Studie
2012Anforderungen an die Produktivität und Komponentisierung von Dienstleistungen. Handlungsempfehlungen
Freitag, Mike
Aufsatz in Buch
2012Demonstration of 22nm SRAM features with patternable hafnium oxide based resist material using electron-beam lithography
Thrun, Xaver; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Grenville, Andrew; Stowers, Jason K.; Bartha, Johann W.
Konferenzbeitrag
2012Evaluation of direct patternable inorganic spin-on hard mask materials using electron beam lithography
Thrun, X.; Choi, K.H.; Freitag, M.; Grenville, A.; Gutsch, M.; Hohle, C.; Stowers, J.K.; Bartha, J.W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Feasibility study of optical/e-beam complementary lithography
Hohle, Christoph; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Rudolph, Matthias; Thrun, Xaver; Jaschinsky, Philipp; Kahlenberg, Frank; Klein, Christof; Klikovits, Jan
Konferenzbeitrag
2012Produktivität von Dienstleistungen
Freitag, Mike; Lamberth, Sabrina
Aufsatz in Buch
2011Efficient large volume data preparation for electron beam lithography for sub-45nm node
Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Freitag, Martin; Hohle, Christoph
Konferenzbeitrag
2011Fast characterization of line end shortening and application of novel correction algorithms in e-beam direct write
Freitag, M.; Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Hohle, C.; Galler, R.; Krueger, M.; Weidenmueller, U.
Konferenzbeitrag
2011Fast characterization of line end shortening and application of novel correction algorithms in e-beam direct write
Freitag, Martin; Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Galler, Reinhard; Krüger, Michael; Weidenmüller, Ulf
Zeitschriftenaufsatz
2011Hybride Produkte. Innovationsbewertung für produktbezogene Dienstleistungen
Freitag, M.; Rogowski, T.
Aufsatz in Buch
2011InnoScore® service. Evaluating innovation for product-related services
Freitag, M.; Ganz, W.
Konferenzbeitrag
2011Line end shortening and application of novel correction algorithms in E-beam direct write
Freitag, M.; Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Hohle, C.
Konferenzbeitrag
2011Method of collecting and categorising performance indicators to measure productivity of modular services using an IT tool
Freitag, Mike; Lamberth, Sabrina; Klingner, Stephan; Böttcher, Martin
Konferenzbeitrag
2011Variable-shaped e-beam lithography enabling process development for future copper damascene technology
Jaschinsky, P.; Erben, J.-W.; Choi, K.-H.; Schulze, K.; Gutsch, M.; Freitag, M.; Schulz, S.E.; Steidel, K.; Hohle, C.; Gessner, T.; Kücher, P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2010Checkerboard pattern for PSF parameter determination in electron beam lithography
Gutsch, M.; Choi, K.-H.; Freitag, M.; Hauptmann, M.; Hohle, C.; Jaschinsky, P.; Keil, K.
Konferenzbeitrag
2010Conventional and reversed image printing in electron beam direct write lithography with proximity effect corrections based on dose and shape modification
Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Freitag, M.; Keil, K.; Jaschinsky, P.; Hohle, C.
Konferenzbeitrag
2010Einleitung »Services Made in Germany«
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2010KoProServ: Komponenten, Produktivität, Services
Freitag, M.
Konferenzbeitrag
2010Die Performance steigern
Freitag, M.; Hofmann, H.R.; Siemes, J.; Stofmeel, A.
Aufsatz in Buch
2010Ein Schnippchen dem Schnäppchen
Selinger, G.; Husen, C. van; Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2010Service Engineering internationaler Dienstleistungen
: Spath, D.; Fähnrich, K.-P.; Freitag, M.; Meyer, K.
Buch
2010Sicher zum Ziel. Die fünf Schritte
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2010Von der Dienstleistung zur hybriden Wertschöpfung - Ein Anwendungsbeispiel zum Asset Management in den Netzdienstleistungen
Brettreich-Teichmann, W.; Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2010Wertschöpfung durch strategische Outsourcingpartnerschaften im Customer Care
Stauss, B.; Freitag, M.; Jedrassczyk, M.; Pasing, A.
Aufsatz in Buch
2010Das Wichtigste auf einen Blick
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2009Unternehmenskultur und Unternehmensleitbilder
Martinetz, S.; Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2008Entwicklung internationaler produktbezogener Dienstleistungen
: Fähnrich, K.-P.; Müller, R.; Meyer, K.; Freitag, M.
Buch
2008Leistungsgestaltung
Freitag, M.; Husen, C. van
Aufsatz in Buch
2008Services visualisieren und in die Praxis umsetzen
Freitag, M.; Hermann, S.
Konferenzbeitrag
2008Testen von ästhetischen Faktoren in der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.; Burger, T.
Aufsatz in Buch
2007Einführung neuer Dienstleistungsangebote auf internationalen Märkten
Freitag, M.
Konferenzbeitrag
2007Entwicklung und Management internationaler Dienstleistungen
Freitag, M.; Husen, C. van; Müller, R.
Studie
2007Fazit und Schlussfolgerungen
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2007Innovationsfördernde Unternehmenskultur
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2007PerLe: Performanz-Leitbilder
Ganz, W.; Meiren, T.; Freitag, M.
Konferenzbeitrag
2007Rahmenkonzept zur Analyse
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2007ServLab live - Kunden- und Mitarbeiterfeedback einholen
Burger, T.; Freitag, M.; Hermann, S.
Konferenzbeitrag
2006Einfluss von Leitbildern auf das Innovationsverhalten von Unternehmen
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2006Entwicklung hybrider Dienstleistungen und Produkte
Freitag, M.; Ganz, W.; Korell, M.; Schnalzer, K.
Aufsatz in Buch
2006Ganzheitliches Engineering von Dienstleistungen
Husen, C. van; Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2006Leitbilder - gelebte Werte oder nur Worte?
Freitag, M.; Ganz, W.; Graf, N.; Hudak, R.; Köhler, S.; Martinetz, S.; Meiren, T.
: Ganz, W.; Graf, N.
Studie
2005Modularisierung
Freitag, M.; Husen, C. van
Konferenzbeitrag
2004Entwicklung und Implementierung von Dienstleistungen bei der AUDI AG
Endres, W.; Freitag, M.; Meiren, T.
Aufsatz in Buch
2004IT services
Freitag, M.; Husen, C. van
Konferenzbeitrag
2004Schnittstellenmanagement bei der Organisation der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2004Service Prototyping
Freitag, M.
Konferenzbeitrag
2004Umsetzung von Service Engineering bei Océ
Grabow, G.; Wurps, H.; Freitag, M.; Meiren, T.
Aufsatz in Buch
2003Dienstleistung - Leistungsangebot Entwicklung
Freitag, M.; Meiren, T.
Aufsatz in Buch
2003Dienstleistungsprozesse - Kundenorientierte Gestaltung von Abläufen
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2003Holistic development of new services
Freitag, M.; Meiren, T.; Wurps, H.
Konferenzbeitrag
2003The role of design concepts in service companies
Freitag, M.; Husen, C. van
Konferenzbeitrag
2003Systematische Entwicklung von Dienstleistungen am Beispiel der Medienbranche
Delp, M.; Freitag, M.; Meiren, T.
Aufsatz in Buch
2002Konzeption von Dienstleistungen
Freitag, M.
Aufsatz in Buch
2002Preisgestaltung bei Dienstleistungen
Freitag, M.; Miehlnickel, J.
Konferenzbeitrag
2002Service Engineering in der Praxis
Meiren, T.; Liestmann, V.; Freitag, M.
Buch
2001Grundlagen der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.; Schwengels, C.
Konferenzbeitrag
1999Information Representation in Cooperative Virtual Environments
Freitag, M.R.
: Gräff, A. (Prüfer); Felger, W. (Prüfer); Quick, J. (Prüfer)
Diplom-Arbeit
1997Personal user agents in a global network environment
Freitag, M.R.
: Peters, R. (Prüfer); Schiffner, N. (Prüfer)
Diplom-Arbeit
1997Prozeßorientiertes Qualitätsmanagement beim Elektronikschrott-Recycling
Moukabary, G.; Otten, H.; Crostack, H.-A.; Freitag, M.
Zeitschriftenaufsatz
1996Kfz-Recycling. Entwicklung einer integrierten QS- und Logistikstrategie
Otten, H.; Crostack, H.-A.; Freitag, M.
Zeitschriftenaufsatz