Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen
Freiberger, R.
Dissertation
2012Gateable micro channel plate detector for extreme ultraviolet radiation with high temporal resolution
Freiberger, R.; Hauck, J.; Lvovsky, D.; Adam, R.; Danylyuk, S.; Juschkin, L.
Aufsatz in Buch
2011Performance benchmark of a gateable microchannel plate detector for extreme ultraviolet radiation with high temporal resolution
Hauck, J.; Freiberger, R.; Juschkin, L.
Konferenzbeitrag
2011Time resolved EUV pump-probe microscopy of fs-LASER induced nanostructure formation
Freiberger, R.; Hauck, J.; Reininghaus, M.; Wortmann, D.; Juschkin, L.
Konferenzbeitrag
2010EUV-pump-probe microscopy of FS-laser induced nano-structure formation
Wortmann, D.; Reininghaus, M.; Juschkin, L.; Freiberger, R.
Konferenzbeitrag
2009EUV microscopy for defect inspection by dark-field mapping and zone plate zooming
Juschkin, L.; Freiberger, R.; Bergmann, K.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Two magnification steps EUV microscopy with a Schwarzschild objective and an adapted zone plate lens
Juschkin, L.; Freiberger, R.
Konferenzbeitrag