Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Freeform and Laser Optical Coatings by Inline Magnetron Sputtering
Glöß, Daniel; Hartung, Ullrich; Drescher, Andy; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen
Konferenzbeitrag
2018Coating technology for locally varying optical function on 2d and 3d elements
Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2018Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
Bartzsch, Hagen; Barth, Stephan; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2018Verfahren zum Abscheiden einer Schicht mittels einer Magnetronsputtereinrichtung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Hildisch, Jan
Patent
2017Anodization of sputtered substoichiometric aluminum oxide thin-films for improved nanorod array fabrication
Patrovsky, Fabian; Fiehler, Vera; Derenko, Susan; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Ortstein, Katrin; Frach, Peter; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2017Effect of scandium content on structure and piezoelectric properties of AlScN films deposited by reactive pulse magnetron sputtering
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2017Energy harvesting based on piezoelectric AlN and AlScN thin films deposited by high rate sputtering
Frach, Peter; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2017Large area precision coatings by pulse magnetron sputtering
Frach, Peter; Glöß, Daniel; Goschurny, Thomas; Drescher, Andy; Hartung, Ullrich; Bartzsch, Hagen; Heisig, Andreas; Grune, Harald; Leischnig, L.; Leischnig, S.; Bundesmann, C.
Konferenzbeitrag
2017Time-sequential working wavelength-selective filter for flat autostereoscopic displays
Barré, René de la; Bartmann, Roland; Jurk, Silvio; Kuhlmey, Mathias; Duckstein, Bernd; Seeboth, Arno; Lötzsch, Detlef; Rabe, Christian; Frach, Peter; Bartzsch, Hagen; Gittner, Matthias; Bruns, Stefan; Schottner, Gerhard; Fischer, Johanna
Zeitschriftenaufsatz
2017Verfahren zur Herstellung einer feldförmigen, homogenen Rod-Anordnung und deren Verwendung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Barth, Stephan; Eng, Lukas; Derenko, Susan
Patent
2017Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Rod-Array-Anordnung und Rod-Array-Anordnung
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Barth, Stephan; Eng, Lukas; Derenko, Susan
Patent
2016Adjustment of plasma properties in magnetron sputtering by pulsed powering in unipolar/bipolar hybrid pulse mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Mathias; Labitzke, Rainer
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Energy Harvesting auf der Basis piezoelektrischer AlN- und AlScN -Dünnschichten
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2016Heat transfer model of dropwise condensation and experimental validation for surface with coating and groove at low pressure
Lu, Chie-Hung; Beckmann, Michael; Unz, Simon; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Holst, E.; Lasagni, Andrés-Fabián; Bieda, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2016Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz
2016Verfahren zum Abscheiden eines transparenten Mehrschichtsystems mit Kratzschutzeigenschaften
Bartzsch, Hagen; Täschner, Kerstin; Frach, Peter
Patent
2015Adjustment of Plasma Properties in Magnetron sputtering by Pulsed Powering in Mixed Unipolar and Bipolar Mode
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gittner, Matthias; Labitzke, Rainer
Konferenzbeitrag
2015Electrospray ionization deposition of BSA under vacuum conditions
Hecker, Dominic; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2015Influence of process parameters on properties of piezoelectric AlN and AlScN thin films for sensor and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Modes, Thomas; Zywitzki, Olaf; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2015Photocatalytic properties of TiO2 thin films modified with Ag and Pt nanoparticles deposited by gas flow sputtering
Maicu, Marina; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Hecker, Dominic; Gerlach, Gerald; Cordoba, Jose M.
Zeitschriftenaufsatz
2015Verfahren zum Abscheiden einer piezoelektrischen AlN-haltigen Schicht sowie eine AlN-haltige piezoelektrische Schicht
Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Barth, Stephan
Patent
2014Co-sputtering of rugate filters of reduced loss and roughness
Taeschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Duparre, Angela; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Combination of pulse magnetron sputtering and atomic layer deposition for very low water vapor and oxygen transmission rates using cheap standard plastic substrates
Krug, Mario; Barth, Stephan; Endler, Ingolf; Glöß, Daniel; Fahlteich, John; Boeffel, Christine; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Effect of process parameters on structure and piezoelectric properties of AlN and AlXSc1-XN films deposited by pulsed magnetron sputtering
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Zywitzki, Olaf; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2014Low pressure plasma treatment for curing hybrid layer systems
Glöß, Daniel; Rose, Klaus; Drescher, Andy; Kron, Johanna; Frach, Peter
Konferenzbeitrag
2014Niederdruck-Plasmabehandlung zur Aushärtung von hybridpolymeren Schichtsystemen
Glöß, Daniel; Rose, Klaus; Drescher, Andy; Kron, Johanna; Frach, Peter
Aufsatz in Buch
2014Roughness and optical losses of rugate coatings
Herffurth, Tobias; Trost, Marcus; Schröder, Sven; Täschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2014Sputter deposition of piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Glöß, Daniel; Bartzsch, Hagen; Juuti, J.; Gerlach, Gerald; Suchaneck, Günther; Heuer, Henning; Walter, Susan; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Palosaari, J.
Konferenzbeitrag
2014Sputter deposition of stress-controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stefan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Walter, Susann; Herzog, Thomas; Frach, Peter; Heuer, Henning
Zeitschriftenaufsatz
2014Synthesis and deposition of metal nanoparticles by gas condensation process
Maicu, Marina; Schmittgens, Ralf; Hecker, Dominic; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz
2014Synthesis and deposition of metal nanoparticles by gas phase condensation process
Glöß, Daniel; Maicu, Marina; Schmittgens, Ralph; Hecker, Dominic; Frach, Peter; Gerlach, Gerald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Synthesis and Deposition of Metal Nanoparticles by Gas Phase Condensation Process
Glöß, Daniel; Maicu, Marina; Frach, Peter; Schmittgens, Ralph; Hecker, Dominik; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
2014Verfahren zum Abscheiden einer Schicht auf einer organischen Halbleiterschicht
Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Fahlteich, John; Gottfried, Christian
Patent
2013High power density pulse magnetron sputtering - process and film properties
Frach, Peter; Gottfried, Christian; Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel
Konferenzbeitrag
2013Plasma deposition of hydrophobic coatings on structured surfaces for condensation and heat transfer
Glöß, Daniel; Frach, Peter; Maicu, Marina; Holst, Emmy; Schmittgens, Ralf; Gerlach, Gerald; Lu, Chen; Roch, T.; Bieda, M.; Lasagni, A.; Beckmann, M.
Konferenzbeitrag
2013Roughness and optical losses of rugate coatings
Herffurth, Tobias; Trost, Marcus; Schröder, Sven; Täschner, Kerstin; Bartzsch, Hagen; Frach, Peter; Duparré, Angela; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Sputter deposition of stress controlled piezoelectric AlN and AlScN films for ultrasonic and energy harvesting applications
Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Konferenzbeitrag
2012Präzisionsbeschichtung für Optik, Sensorik und Elektronik
Frach, Peter; Potinecke, Thomas; Slama, Alexander; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Mehlstäubl, Marita
Aufsatz in Buch