Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Development of a multi-sensor system for condition monitoring and crash detection of machine tools with rotating spindles
Meinecke, C.; Clauss, B.; Albers, J.; Hoeller, H.; Streit, P.; Forke, R.; Weidlich, S.; Dittrich, C.; Stritzke, B.; Schubert, A.; Hiller, K.; Reuter, D.
Konferenzbeitrag
2019Intelligenter Werkstückträger mit Inertialsensorik zum Überwachen und Optimieren von Fertigungsprozessen
Forke, Roman; Forke, Erik; Alalus, Mohaned Khaled; Weidlich, Sebastian; Bülz, Daniel
Konferenzbeitrag
2019Low Power High Bandwidth Acceleration Sensor For Industrial Applications
Forke, R.; Hiller, K.; Hahn, S.; Weidlich, S.; Konietzka, S.; Motl, T.; Praedicow, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2019Simulation of Self-Heating of Printed Interconnects for Thermal Design
Bülz, D.; Streit, P.; Forke, R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
20183D-Packaging-Technologien zur Herstellung intelligenter medizinischer Implantate
Wuensch, D.; Schroeder, T.; Baum, M.; Hiller, K.; Forke, R.; Wiemer, M.; Weidenmueller, J.; Dogan, O.; Goertz, M.
Konferenzbeitrag
2018Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau
Dittrich, C.; Forke, R.; Hiller, K.; Kreutziger, P.; Kuerschner, R.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Weidlich, S.; Streit, P.; Hahn, S.
Konferenzbeitrag
2017Implantable hemodynamic controlling system with a highly miniaturized two axis acceleration sensor
Baum, Mario; Wünsch, Dirk; Hiller, Karla; Forke, Roman; Schröder, Tim; Weidlich, Sebastian; Hahn, Susann; Reuter, Danny; Wiemer, Maik; Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Otto, Thomas
Konferenzbeitrag
2017MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Berner, T.; Schulze, R.; Shaporin, A.; Forke, R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Results of multi-mass high precision vibratory MEMS gyroscopes for two types of system approaches
Popova, I.; Lestev, A.; Fedorov, M.; Rakityansky, O.; Ivanov, V.; Semenov, A.; Forke, R.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Koehler, D.; Konietzka, S.
Konferenzbeitrag
2016A highly miniaturized two-axis acceleration sensor for implantable hemody-namic controlling system
Wünsch, Dirk; Hiller, Karla; Forke, Roman; Baum, Mario; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü
Abstract
2015Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen
Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Koehler, D.; Hiller, K.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Yet another tuning fork gyroscope
Forke, R.; Hiller, K.; Hahn, S.; Konietzka, S.; Motl, T.; Köhler, D.; Heinz, S.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Entwicklung eines experimentellen Aufbaus zur Systemcharakterisierung von MEMS Gyroskopen auf Waferlevel
Weidlich, S.; Forke, R.; Konietzka, S.; Hiller, K.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014High precision vibratory MEMS gyroscope
Billep, D.; Hiller, K.; Hahn, S.; Forke, R.; Köhler, D.; Stöckel, C.; Konietzka, S.; Heinz, S.
Aufsatz in Buch
2014Piezoelectric P(VDF-TrFE) transducers assembled with micro injection molded polymers
Schulze, R.; Heinrich, M.; Nossol, P.; Forke, R.; Sborikas, M.; Tsapkolenko, A.; Billep, D.; Wegener, M.; Kroll, L.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
Koehler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.
Konferenzbeitrag
2013Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte
Hiller, K.; Hahn, S.; Kuechler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Koehler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Optimization of MEMS/NEMS for reliable resonance frequencies
Stoeckel, C.; Hofmann, K.; Forke, R.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Piezoelectric Accelerometer Based on Micro Injection Molded Polymers
Schulze, R.; Heinrich, M.; Wegener, M.; Forke, R.; Billep, D.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
Koehler, D.; Hiller, K.; Forke, R.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Billep, D.; Heinz, S.; Lange, A.
Konferenzbeitrag
2012Integration of piezoelectric polymer transducers into microsystems for sensing applications
Schulze, R.; Gessner, T.; Schueller, M.; Forke, R.; Billep, D.; Hahn, R.; Heinrich, M.; Sborikas, M.; Wegener, M.
Konferenzbeitrag
2012Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen
Forke, R.
Dissertation
2011Robust design of MEMS structures
Hofmann, K.; Billep, D.; Forke, R.; Hiller, K.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2010Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen
Köhler, D.; Pohle, A.; Konietzka, S.; Heinz, S.; Lange, A.; Billep, D.; Forke, R.; Horstmann, J.T.; Loebel, K.-U.; Ramsbeck, M.
Konferenzbeitrag
2008Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Fabrication and characterization of a force coupled sensor-actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2008Test-structures for wafer level microsystems characterization
Shaporin, A.; Forke, R.; Schmiedel, R.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2008Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators
Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2007Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2007MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures
Shaporin, A.; Forke, R.; Doetzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2007Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.
Konferenzbeitrag
2007Test-Structure based MEMS Characterization Technique
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W.
Konferenzbeitrag
2006Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2006Micromachined force coupled sensor actuator system for frequency selective vibration monitoring
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2006A tunable resonant vibration measurement unit based on a micromachined force coupled sensor-actuator system
Mehner, J.; Gessner, T.; Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag
2005Mikromechanisches gekoppeltes Schwingsystem für frequenzselektive Vibrationsmessungen
Forke, R.; Mehner, J.; Doetzel, W.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag