Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1997Chemically amplified deep ultraviolet resist for positive tone ion exposure
Brünger, W.H.; Torkler, M.; Buchmann, L.-M.; Finkelstein, W.
Konferenzbeitrag
1995Damage characterization of ion beam exposed metal-oxide-semiconductor varactor cells by charge to breakdown measurements
Brünger, W.H.; Buchmann, L.-M.; Naumann, F.; Friedrich, D.; Finkelstein, W.; Mohondro, R.
Konferenzbeitrag