Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Wafer-Level-3D-Integrationsverfahren für hochsensitive optische Sensoren
Kalwa, Lukas; Gläsener, Stefan; Ruskowski, Jennifer; Figge, Martin; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Development of a piezoelectric flexural plate-wave (FPW) bioMEMS-sensor for rapid point-of-care diagnostics
Jupe, Andreas; Livshits, Pavel; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
Konferenzbeitrag
2017Development of micro electromechanical biosensor for fast detection of respiratory syncytial virus infections in newborns
Livshits, Pavel; Jupe, Andreas; Kahnert, Stefan; Figge, Martin; Mross, Stefan; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag, Poster
2017Fabrication and electrochemical characterization of ruthenium nanoelectrodes
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2017Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren
Krause, Christopher; Stühlmeyer, Martin; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger
Konferenzbeitrag
2017Tapering of nanoelectrodes for an intracellular contact via a double hard mask technique
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016Post-CMOS integrated ALD 3D micro- and nanostructures and application for multi-electrode arrays
Jupe, Andreas; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016Post-CMOS integration of miniaturized solar cells for energy harvesting of autonomous sensor nodes
Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Figge, Martin; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2011Light switched plasma charging protection device for high-field characterization and flash memory protection
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Figge, M.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2009Light switched plasma charging damage protection device allowing high field characterization
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Figge, M.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2002A high-density EEPROM memory in an embedded CMOS process
Figge, M.
Aufsatz in Buch
2000Konzepte zur Integration spannungsfester Bauelemente in eine Submikrometer-CMOS-Technologie
Figge, M.
Dissertation
1998Integrated analog passive components for advanced CMOS processes
Figge, M.; Öztas, H.
Aufsatz in Buch